中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9313666 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、半導体、MEMS、ナノテクノロジー産業向けに高精度、高スループットのアッシングを提供するエッチャー/アセンブラです。GASONICS Aura 2000は、世界最先端の構造物の生産を可能にする幅広い処理ウィンドウで、最も困難な状況で優れたエッチング性能を提供します。この最先端の機器は、ウェーハやパッケージデバイスのストレッチ、エッチング、ストリッピングに最高レベルの柔軟性と費用対効果を提供するように設計されています。NOVELLUS Aura 2000は、エッチング用途において精度と再現性を確保するために、幅広い機能を備えています。これは、酸素、HBr、 CHF3などの標準的なガス混合物を幅広く提供しており、そこからエッチング時間とエッチング速度を校正することができます。簡単なコマンドインターフェイスを備えており、エッチング処理中に機器のパラメータを簡単に変更し、適切な時間、圧力、温度を選択することができます。また、ウォームアップ保護機能を備えており、プロセス機器を熱崩壊から保護しながら、エッチング速度と品質を向上させます。Aura 2000は、特許取得済みのガスインジェクションシステムを搭載しており、ほとんど故障していないため、ガス消費量を最小限に抑えながら非常に高速なスループットを実現します。最大の柔軟性のために、2つのasher、低温asherと高温asherが装備されています。低温では繊細な構造のエッチング時に高精度と再現性が得られ、高温では高いエッチング速度で高速スループットが得られます。Auraには、小さなサンプルサイズのシリコーンが含まれており、ユーザーはすぐにエッチングを開始することができます。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、業界最高の安全基準を満たすように設計されており、危険なガスの流れから安全を保証する認定エンクロージャを備えています。また、エッチング操作を効果的に制御するための自動速度制御とガス分離機能も備えています。また、ウェーハ保護に不活性な雰囲気を使用することで、製品歩留まりを最大化しながら欠陥形成を最小限に抑えます。すべてのコンポーネントは、メンテナンスの容易さと優れた信頼性を確保するために、単一のエンクロージャに収容されています。GASONICS Aura 2000は、ユーザーに柔軟性、利便性、信頼性、費用対効果を提供し、市場で利用可能なトップエッチャー/アセンブラの1つです。そのユニークな機能、堅牢な構造、洗練されたデザインは、あらゆる半導体、MEMS、ナノテクノロジーのアプリケーションに最適です。