中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9233409 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、半導体産業の高度なニーズに特化した高精度エッチャー/アッシャーです。この強力なエッチャーは、エッチングと灰の技術のユニークな組み合わせを利用して、最高水準の品質と信頼性を満たす回路基板と集積回路を製造しています。GASONICS Aura 2000は、最適なエッチング/灰の性能と結果を保証するために、さまざまなハイエンド機能を備えています。超高解像度の光学機器は、1インチ分解能あたり最大25,000ラインを提供し、エッチングおよびアッシングプロセスで最高レベルの精度を実現します。また、複雑な回路パターンを精密にエッチングするための石英やイオン化ガスチャンバー、金属を洗浄・エッチングするための高圧エッチングチャンバーを採用しています。NOVELLUS Aura 2000は、さまざまな先進的なマテリアルハンドリング機能も備えています。高速ウェーハハンドリングユニットは、デバイスの迅速かつ効率的なロードとアンロードを可能にし、高度なロボットベースのウェーハソーターは、正確な動きと配置を提供します。また、コンベアベースのトランスポートマシンにより、最大1,000個のI/Oポートを備えた集積回路の正確な配送と取り扱いが可能です。最後に、Aura 2000は、最適な動作条件を確保するために、多数の安全機能を備えて設計されています。そのデュアルコントローラモジュールは、複数のプロセス実行を監視および監視することを可能にし、さまざまなセンサーがツールの環境条件に関するデータを提供します。この資産はまた、温度制御と効率的な動作のための高度な冷却モデルで構築されています。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000装置は、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計された非常に強力なエッチング/アッシング装置です。高度な光学システムとマテリアルハンドリング機能により、高品質で信頼性の高い結果を得ることができ、安全機能により、ユニットが安全かつ安全に動作することが保証されます。