中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9398806 を販売中

GASONICS / NOVELLUS Aura 1000
ID: 9398806
ウェーハサイズ: 6"
Asher, 6".
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、チップスケールの高度な機能設計を可能にするように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この装置は、2インチから10インチの範囲の基板上の誘電体および導体層の複雑で複雑なエッチングを行うことができます。また、ポリイミド、ポリシリコン、金属を含むすべての種類の材料を処理することができます。GASONICS Aura 1000は、エッチングにおいて優れた精度と精度を提供します。最小フィーチャーサイズは0。5 µm、優れた仕上がりです。機器はエンドポイント検出システムを使用してエッチング速度とエンドポイントを制御し、ファブレスマルチドーピング技術により、プロセス内で正確なドーピング測定を可能にします。このツールは、デジタルクローズドループ制御システムと合成ジェット洗浄プロセスも備えています。Auras 1000は、運用コストの削減とプロセスの効率化を含むさまざまなメリットを提供します。その革新的なソフトウェアプラットフォームは、使いやすいインターフェイスと調整可能なツールにより、市場投入までの時間を短縮できるように設計されています。この装置はまた、手続きのシンプルさと生産スループットの向上を兼ね備えています。これにより、手動パラメータの調整が不要になるため、エラーのない処理が保証されます。NOVELLUS Aura 1000は信頼性が高く、操作や狭いスペースを編集するためのクリーンルーム互換環境を提供します。さらに、このエッチャー/アッシャーは、ユーザーおよびオペレーターの安全を害することのないように安全対策を実施する必要があります。オーラ1000の設計および構造はまた摩耗による長期損傷から装置および部品を保護します。エッチャー/アッシャーも環境に優しく、従来のタイプの機器に比べて排出量と騒音が少なくなります。さらに、その設計はエネルギー効率も高く、同様のエッチングシステムよりも約15%少ないエネルギーを消費します。結論として、GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、誘電体と金属層の複雑で精密なエッチングを可能にするように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。高精度、高スループット、使いやすさ、安全機能を兼ね備えているため、使いやすく効率的なエッチャー/アッシャーをお探しのお客様に最適です。
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