中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9392786 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、高い生産性、低メンテナンス、中〜高スループット、一貫した結果を提供するエッチャー/アッシャーです。機械の中核部品には、高出力RF発電機と低圧環境のエッチングチャンバー、高圧プラズマとマイクロ波発電機のアッシングチャンバーがあります。この機械は、InP、 GaAs、 Si、 SiGeなどのさまざまな材料をエッチングおよびアッシングすることができます。チャンバーの主なコンポーネントは、プロセスチャンバー、エンドベル、RFソース、RFマッチングユニット、IGBTマッチ、真空機器、トップローダー、ベローズ、ロードロック、排気システムです。RFソースのさまざまなコンポーネントには、RFジェネレータ、RFマッチングユニット、IGBTマッチ、RFトーチ、およびRFブロッカーがあります。マイクロ波源は、アッシング工程用のマグネトロンとエッチング工程用の高出力マグネトロンで構成されています。GASONICS Aura 1000は、直径8インチまでの200-300ウェハに対応できる、コスト効率の高いエッチング/アッシングユニットです。ミディアムからハイスループット向けに設計されており、幅広いエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。例えば、Deep Reactive Ion Etching （DRIE）、 Plasma Immersion Ion Etching （PIIE）、 Plasmaアシスト酸化アッシングが可能です。プロセスチャンバーには、粒子のない基板を確保するための一連のナノ粒子洗浄設備が装備されています。また、再現性と信頼性の高い温度制御を容易にし、最適なプロセスダイナミクスを保証します。このマシンにはOptiSelectソフトウェアも搭載されており、ユーザーが希望するパフォーマンスと結果を得るために最適なエッチングとアッシングプロセスを選択するのに役立ちます。NOVELLUS Aura 1000は、プロセス結果を最適化するため、従来のプロセス監視とプロセスの自動最適化の両方をサポートしています。これには、エッチングの選択性、エッチング速度、フィーチャーサイズ制御、ギャップ距離、マスクの均一性などの監視パラメータが含まれます。さらに、このマシンはプロセスドリフトを予測して検出することができ、プロセスの大幅な変化を防ぐことができます。全体として、Aura 1000はミディアムからハイスループットのアプリケーションに最適なエッチャー/アッシャーです。高効率で使いやすく、信頼性の高い反復可能な結果を提供します。また、安全なプロセス環境を確保するために、点火検出機などのさまざまな安全機能を備えています。