中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9390033 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、ディープトレンチ接触パターンやフラッシュメモリなどの高度な半導体アプリケーションに使用されるハイエンドエッチャー/アッシャー機器です。銅やプレメタル誘電性ウェットエッチングなど独自の先進エッチング技術を採用し、優れた電気性能で高い歩留まりを実現しています。GASONICS Aura 1000は、3つの構成可能なプロセスモジュールを備えており、幅広い種類の高度なエッチングケミストリーを備えています。単位の処理ヘッドは各材料および特徴の特定のエッチングの条件に合わせることができます。強力なオートメーションソフトウェアを使用して、チューニング可能なエッチパラメータを有効にし、エラーのないプロセスを実行します。このマシンには、さまざまなウエハサイズに対応するハイエンドのロータリーチャックが装備されており、異なる基板を自動的に切り替えることができます。また、銅柱やTSVスタックなどの平面構造と3D構造の両方に対応できます。NOVELLUS Aura 1000の大きな利点の1つは、1回の実行で大量の基板を処理する能力です。Aura 1000は、他のエッチングシステムと比較して、最大24個のウェーハを同時に処理することで、ウェーハスループットを向上させ、時間を節約できます。処理能力に加えて、GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、一貫したパフォーマンスと信頼性の高い結果を保証するための高度な監視システムも誇っています。このツールには、高度なレベル計測ツールが組み込まれており、エッチング率を継続的に測定し、最適なプロセス制御のために資産パラメータを調整します。全体として、GASONICS Aura 1000は、高度な機能と構造をエッチングおよびアッシングするための理想的なプラットフォームを提供します。NOVELLUS Aura 1000は、完全なエッチング機能と優れたプロセス制御を提供することで、製品の生産性と歩留まりの向上を支援し、信頼性とコスト効率に優れたプロセスソリューションを提供します。