中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9284336 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、半導体製造プロセス向けに開発された高性能エッチャー/アッシャーです。費用対効果と信頼性を兼ね備えた設計で、さまざまなプロセスで基板を処理するための信頼性と精度の高いプラットフォームを提供します。GASONICS Aura 1000は、高速かつ正確なパターニングのための特許取得済みの自動極性変換（APC）技術を備えています。この装置は、他のシステムと比較して高い精度と再現性を実現し、高いアスペクト比と異なる基板を持つエッチング装置が可能です。このエッチャーは、ALD、プラズマクリーン、および化学蒸着（CVD）プロセスを使用して、パターン選択プロセス、垂直配置形状フィーチャー、およびTrue Step-Height Restorationに処理します。NOVELLUS Aura 1000は、高精度な基板の取り扱いと位置決めのために、スターリングセントリシティ基板搬送システムを採用しています。基板の正確な積み込み、位置決め、回転を実現します。その他の機能としては、オートレベリング、オートウェーハマッピング、Sステージ拡張、スケーリング処理スループットなどがあります。さらに、このエッチャーは超音波とウェーハ洗浄技術を備えた統合基板洗浄も備えています。これにより、基板表面を効率的かつ正確に洗浄できます。さらに、Aura 1000のプラズママシンは低粒子のろ過を使用しており、デバイスに害を及ぼす可能性のある粒子の蓄積を低減します。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000には、温度、圧力、およびその他のプロセスパラメータのリアルタイム監視を提供する高度に統合された操作ツールが付属しています。また、さまざまなプロセスレシピ、プロファイル、設定があり、オペレータにエッチングとアッシングプロセスをカスタマイズする柔軟性を提供します。このエッチャーは使いやすく、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスと包括的な組み込みドキュメントを備えています。全体として、GASONICS Aura 1000は、精密半導体製造のための高度で信頼性が高く、費用対効果の高いエッチャーです。その技術的に高度な設計、統合されたプロセスおよび基板処理、および慎重な洗浄手順は、今日の高度な半導体デバイスに効率的で正確なエッチングおよびアッシング資産を提供します。