中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9280985 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、優れたプロセス柔軟性と優れた機器性能を提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。このシステムは、1時間あたり6インチウェーハ（wph）の生産能力を誇り、4インチから6インチまでのサイズのウェーハをエッチングすることができます。このツールは、より大きなウェーハを処理する必要があるファブリケーターにとって非常に貴重なオプションを提供します。最大16個のプロセスチャンバーに対応し、さまざまなレシピからさまざまなプロセス選択肢を顧客に提供できます。GASONICS Aura 1000は、幅広い用途に対応する高容量、高性能エッチング/増加ツールです。高度な技術とユーザーフレンドリーな人間工学を組み合わせ、シンプルな操作とメンテナンスを実現します。このツールはまた、各プロセスチャンバー内に統合された3つのレシピにより、優れたプロセス柔軟性を提供します。また、プロセスインテリジェンス、自動診断、自動校正機能などの革新的な機能も備えています。このユニットは、シリコン、ゲルマニウム、その他のIII-V化合物など、さまざまな半導体材料をエッチングする機能を備えています。NOVELLUS Aura 1000は、最適な結果を提供し、同時に所有コストを削減する機能を備えています。それは効率的で、信頼でき、費用効果が大きいエッチング・プロセスを保障するために高度の、生産指向の制御機械と設計されました。このツールは、マルチモード、マルチレーンエッチングプラットフォームと使いやすいレシピプログラミングを採用しています。アセット全体も、センサーモデルからのフィードバックに基づいてプロセスを継続的に監視し、調整を行うように設計されています。これにより、エッチングプロセスが一貫しており、お客様の仕様に合わせて調整され、優れたプロセス性能と納期が保証されます。さらに、Aura 1000は、複数のウェーハを同時に処理する機能を備えた完全な工場監視とプロセス制御を提供します。このツールは、ECDおよびその他の関連業界標準に準拠しており、効率的で高精度なエッチングプロセスに理想的なソリューションを提供します。装置は必要な粒子処理システムで設計されており、ユーザー環境が汚染されず、デバイスが清潔に保たれています。全体として、GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、強力でユーザーフレンドリーで手頃な価格のエッチング/アッシャーであり、ファブリケーターに幅広い半導体エッチング用途に費用対効果の高い生産指向ツールを提供します。