中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9242400 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、幅広い用途に対応したハイテクエッチャー/アッシャーです。直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータートレーニングを最小限に抑えるように設計されており、複雑なエッチングとクリーニングタスクを簡単かつ効率的に実行できます。この装置は、低電圧の陰極線管プラズマ源を備えており、均一性を維持しながら、さまざまな温度と深さでエッチングすることができます。ディスプレイ画面はフルカラーLCDで、システムのオンボードコンピュータに直接リンクされているため、エッチングパラメータを簡単に制御できます。GASONICS Aura 1000にはボンダー/デボンダーユニットが内蔵されており、迅速かつ正確なウェハアタッチメントと取り外しが可能です。このデバイスは迅速なバッチ処理が可能で、1つのバッチで何百ものウェーハをエッチング、洗浄、クリーニングでき、スループットが大幅に向上します。プラズマガード機械はよりよいプロセス制御を保証するフェイルセーフの二次クリーニングの段階を提供します。NOVELLUS Aura 1000には、反応性イオンエッチングとプラズマケミカルエッチングという2段階の物理エッチング処理があります。これにより、ユーザーは正確なエッチング深さだけでなく、正確なプロセス時間を達成することができます。エッチング処理により、多層フォトレジストまたは銅の構造を作成する際に重要な、層の薄化の優れた制御を可能にします。ユニットは長い耐用年数のために構築され、最小限のメンテナンスが必要です。このツールは、ユーザーインターフェイスを介してアクセスされ、迅速かつ正確な作業を可能にするトラブルシューティングと診断機能を備えています。全体として、Aura 1000は直感的でハイエンドなエッチング資産であり、効率、正確さ、利便性のために構築されています。その幅広い機能性とオートメーションのレベルにより、エッチングまたはクリーニングアプリケーションに最適な選択肢となり、多数のウェーハおよび部品プロセスに優れた性能を提供します。