中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9241898 を販売中
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GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、超精密集積回路の製造に使用される高品質のエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、活性ガス源を使用して非常に高い精度で材料を堆積させ、現代の高精度集積回路の高度なエッチングとアッシングのニーズに最適です。GASONICS Aura 1000は6つの独立したガス源で設計されており、独立した酸素、フッ素および空気ベースのガスを可能にします。このユニットはまた、より高い精度をもたらすために高度なチャンバー設計を誇っています。このチャンバーは粒子数を減らすように設計されており、エッチングおよび灰プロセスの精度と忠実度をさらに向上させます。制御オプションが追加され、NOVELLUS Aura 1000のパワーと柔軟性がさらに向上しました。ガスや排気の微粒子を効果的に除去できる先進的な排気装置、精密パターン生成用に特別に設計されたリソグラフィーツール、タッチ操作のタッチスクリーン制御などがあります。これらの機能を組み合わせることで、Aura 1000は今日最も有能なシステムの1つになります。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、一般的に利用可能なエッチングおよびアッシングシステムと互換性があり、その用途をさらに拡大しています。これは、シリーズ9400、シリーズ9500およびシリーズ9700エラー訂正システムで使用するために設計されており、頻繁かつ一貫した堆積を可能にします。この資産は、材料を基板に直接堆積させるのに十分な精度であり、プロセスを大幅に簡素化します。最後に、GASONICS Aura 1000は、元の機器で動作するように設計されているため、追加のアクセサリーや供給を必要としません。これにより、高価なセットアップが不要になり、複雑なインストール手順が不要になります。これは、機器をアップグレードし、正確かつ正確な結果を維持する場合に大きな利点となります。要するに、NOVELLUS Aura 1000は、精度、正確な制御、コスト効率の優れたブレンドを提供する先進モデルであり、高度なエッチングとアッシングのニーズに最適です。
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