中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9210307 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、精密で再現可能な制御を必要とする半導体製造やその他の複雑なプロセスで使用される洗練されたエッチャー/アッシャーです。200mmおよび300mmウェーハ上のアルミニウムやその他の材料を処理するためのハイスループット、高度なアッシング装置です。様々な基板に対応可能で、スループットやレジスト残留低減の面で優れた性能を発揮します。GASONICS Aura 1000は、アルミニウムやその他の材料を正確かつ正確にエッチングする高度な特許取得済みのエッチング技術を備えています。スケーラブルで高スループットで均一なエッチング処理が可能で、幅広いウエハサイズに対応できます。非対称コーティングと対称コーティングを組み合わせることで、基板をアンダーカットすることなく、タイトなプロセス許容範囲内でエッチングすることができます。この2チャンバーシステムは、個々のチャッキングおよびアッシング機能も備えており、必要に応じてプロセスを微調整して制御することができます。NOVELLUS Aura 1000には、迅速かつ簡単なインストールとメンテナンスのためのモジュール化された設計も含まれています。Aura 1000は、さまざまなプロセスのニーズに対応するため、幅広い単位曲線、パワーレベル、およびチャンバー構成をサポートしています。従来のシステムと比較して、100倍低いスループット率（コストと時間の節約）を誇り、クリティカルな寸法変動を最大50％削減できます。ハイスループットで均一なエッチングプロセスにより、ウェーハの厚さの均一性を制御し、再現性のある生産準備ができます。また、プログラミング、モニタリング、プロセスフローの高度化のための広い直感的なユーザーインターフェイスを備えています。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、高度で独自の処理技術と高度な気候制御を採用し、一貫した優れた結果を保証します。エッチングとレジストストリッピングプロセスの両方で優れた再現性と均一性を提供し、最適化されたプロセスを保証します。高度なウエハハンドリング技術により、追加の機器を必要とせずに簡単にエッチングとアッシングを切り替えることができます。また、温度制御チャンバにより、N2純度が向上し、プロセスの再現性が向上します。さらに、GASONICS Aura 1000は、高度な自己診断機能と詳細なレポートを備えており、ツールの最適なパフォーマンスを保証します。高度なセンサーとエッチング環境の厳格な制御を利用して、パラメータを確実に満たします。高度なオートメーションオプションにより、ユーザーは即座に調整を行うことができ、正確で繰り返し可能な結果を保証します。全体的に、NOVELLUS Aura 1000は、幅広い素材に対応できる強力で高効率なエッチャー/アッシャーです。これは、さまざまなプロセスに再現可能で正確な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。取付け、維持することはまた容易信頼でき、長期性能を保障します。