中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9194328 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、ナノパターンの敏感基板用に設計された工業用クラスのエッチャー/アッシャーです。特許取得済みの真空技術を使用して、ウェハバッチからバッチへのエッチング速度、深度、均一性、および機能アライメントを正確に制御できます。エッチャー/アッシャーには、ナノスケールパターンを精密にエッチングするための超高精度プラズマ源が装備されています。オゾンを含まないヘリウムガスを使用し、毎分20nmまでのエッチングが可能です。高精度なため、0。02nmの均一性で2nmのオーダーで特長サイズを実現できます。これには、所有コストを低く抑え、スループットを最大化することを目的としたハードウェアおよびソフトウェア機能のフルレンジが含まれています。電源には、手動およびリモートコントロールオプションが含まれます。ユーザーが望む正確な機能を選択できる2つの基板マップ（手動と自動）があります。GASONICS Aura 1000は、エッチング速度とプロファイル制御を含む完全なテストを実行することができます。利用可能なオプションには、フィルム成膜、ウェーハイメージング、エッチングガスコンディショニング、およびより小さな機能のより正確なエッチングを可能にするその他の最先端のオプションがあります。また、組込みプロセスのトラブルシューティング機能も備えており、エッチングプロセスの改善に関するアドバイスを提供します。このユニットには直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが付属しており、ユーザーがプロセスをセットアップして監視するためのインタラクティブな環境を提供します。NOVELLUS Aura 1000には、ユーザーが問題をすばやく診断して修正できる一連の診断ツールもあります。このユニットにはクイックリリースロボティクスも搭載されており、ユーザーはオペレータの介入を最小限に抑えてウェーハをリロードおよびアンロードすることができます。また、ウェーハ形状とサイズの完全な範囲をサポートしており、ユーザーは完璧なパターニング要件を達成することができます。全体的に、Aura 1000は、世界クラスのパフォーマンスと信頼性をユーザーに提供するように設計された強力なエッチングツールです。研究開発および小規模生産環境での使用を想定して設計されており、さまざまなマイクロエレクトロニクス用途に最適です。