中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9188601 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、集積回路（IC）の製造に使用される高度なリソグラフィープロセスに使用される高度なエッチャー/アッシャーです。GASONICS Aura 1000は、ハイエンドゲート酸化、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、イオン注入など、幅広いアプリケーションとプロセスをサポートするように設計されています。これは、精密なプロセス制御と改善されたエッチング品質のために、複数のステージエッチング/アッシュプロセスを利用しています。NOVELLUS Aura 1000は、信頼性の高い作業環境と長期的な機器の信頼性を提供する堅牢でモジュール式でスケーラブルな設計を使用して組み立てられています。直径300mmまで、厚さ0。35mmまでのウエハ加工が可能です。システムは、精密なプロセス制御と改善されたエッチング品質を提供する複数ステージのアーキテクチャを備えています。それは完全な棚への均等性の自動化されたふた持ち上がること、ローディングおよび荷を下すシステムを特色にします。Aura 1000は、サイドウォールの損傷を最小限に抑え、高レベルの解像度と高アスペクト比エッチングを提供する機能を備えています。高解像度スキャナ、高度なマイクロプロセッサ、精密スパッタリングガンなど、いくつかの高度なコンポーネントが装備されています。これらのコンポーネントは、微細なフィーチャーサポート間隔やライン幅の制御など、非常に精密なエッチング機能を提供するように設計されています。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000には、小型機能の精密エッチング用のハイゾーンスキャンコントロール（ZSC）ユニットが装備されています。また、迅速なエッチング速度のための高速スキャン機能も備えています。このマシンの高度なマイクロプロセッサ機能により、エッチングプログラムの迅速な実装が保証されます。その超高速スキャンコントロールは、小さな機能のより正確なエッチングを保証します。さらに、エッチング後の基板の効率的かつ効果的な洗浄を可能にする高圧原子化脱イオン水槽などの強力な洗浄技術を搭載しています。要約すると、GASONICS Aura 1000は、ハイエンドのリソグラフィープロセスに使用される高度なエッチャー/アッシャーです。直径300mmまで、厚さ0。35mmまでのウエハ加工が可能なモジュール式でスケーラブルなアセットです。このモデルには、高解像度スキャナ、高度なマイクロプロセッサ、精密スパッタリングガンなど、いくつかの高度なコンポーネントが装備されています。さらに、高速エッチング、微細な機能サポート間隔とライン幅の超高速スキャン制御、高度なクリーニング技術、および小さな機能を精密にエッチングするためのハイゾーンスキャン制御（ZSC）装置を備えています。