中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9186489 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、シリコンウェーハ上の独自の高解像度エッチング機能を大量に生産するために設計された次世代エッチング装置です。高度なダイレクトドライブプラットフォームを備えており、より正確な機能エッチングと簡素化されたプロセスインフラストラクチャを可能にします。エッチングパラメータの制御、サイクルタイムの短縮、フィルム品質の向上により、インプロセス欠陥が少なくなります。GASONICS Aura 1000は、GASONICSの現場で実績のあるCVDアーキテクチャに基づいた最新世代のエッチングハードウェアを搭載しており、さまざまなエッチモジュールで構成可能です。エッチプレートは、エッチングジェネレータのマイクロ電気機械システム（MEMS）配列によって駆動され、狭いトレンチやその他の高度なエッチング機能の高精度パターニングを可能にします。さらに、プラットフォームはシフトレジスタアーキテクチャをサポートしており、エッチングステップ間のウェーハ移動に伴うオーバーヘッド時間を短縮します。NOVELLUS Aura 1000は、高度なレシピ最適化アルゴリズムを適用することで信頼性の高いエッチング性能を維持し、ウェーハの材料特性に合わせて自動的にエッチパラメータを調整し、安定したエッチパフォーマンスを実現します。この機能は、ユニークなフィルムや多層構造を扱う場合に特に便利です。Aura 1000には、密閉されたチャンバー、安全遮断スイッチ、最新のインターロック技術など、いくつかの安全機能も装備されています。また、電気サージやその他の損傷する電力の問題に耐性があるように設計されています。さらに、プロセス領域に存在する粒子の量を減らすために排気フィルターを装備しています。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、最大8つのウェーハを並列処理することができ、最新の高速通信プロトコルを利用するように設計されており、高いスループットと再現性を必要とするシステムに最適です。また、オートメーションシステムを含む業界標準のツールやインフラストラクチャとも互換性があります。全体として、GASONICS Aura 1000は、高精度エッチング、高速サイクルタイム、および簡素化されたプロセスインフラストラクチャを備えた業界をリードするエッチングマシンです。信頼できる性能と安全性を備えたNOVELLUS Aura 1000は、半導体エッチング用途に最適です。