中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9171308 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、Lithographicプロセスの最先端のニーズを満たすように設計されたGoliathクラスのエッチングシステムです。GASONICSは、精密コンピュータ制御のRF加熱素子を内蔵したトレンチ状の単一チャンバーを備えており、優れた精度とプロセスの均一性を実現しています。GASONICS Aura 1000のエッチングチャンバーは、高性能セラミックでコーティングされたシリコンおよび石英ベースの材料で構成されており、チャンバーを腐食や粒子から保護します。内部には、基板全体の均一な加熱プロセスを可能にする統合された回転子が装備されています。NOVELLUS Aura 1000には、チャンバー内に真空環境を確立するための高度な機械式真空制御装置も含まれています。これは、追加のRF加熱素子と組み合わせて、基板材料の構造に影響を与えることなく均一な基板プロファイルを可能にします。Aura 1000には、スマートプロセス制御と呼ばれるエッチングプロセスを監視するための高度なシステムも装備されています。このユニットは、チャンバー内のエッチング環境を測定および監視し、温度、圧力、およびRF周波数レベルなどのプロセスの側面を正確に測定することができます。機械はまたプロセスアプリケーションの特定の条件に従って調節がなされるようにプログラムされます。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、エッチングチャンバーに素材を直接正確に搬送できる高精度な材料搬送ツールを備えています。Precision Transfer Chamberを標準装備し、クリーンで高精度な材料配送と高い基板スループットを保証します。余分な予防策として、機械には高圧リターンアセットも含まれており、空中粒子がチャンバーに入るのを防ぎます。GASONICS Aura 1000は、シリコンや石英から金属やセラミックスまで、さまざまな材料を加工することができます。マイクロビア、トレンチ、マスク層などの最も困難な構造を含むさまざまな材料の最適なエッチングを可能にするためにパラメータを調整することができます。NOVELLUS Aura 1000は、あらゆるエッチングおよびアッシャー設備にとって非常に貴重なツールであり、プロセスの効率と精度を大幅に向上させることができます。敏感な構造または堅い合金材料を処理するかどうか、この機械はエッチングのための強力で、信頼できる選択です。