中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9105746 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、GASONICSとNOVELLUSの両方の確立された強みを組み合わせ、堅牢でハイスループットツールを作成する高度なエッチャーとアッシャーです。GASONICS/NOVELLUS低温反応イオンエッチング（RIE）技術とGASONICS高温プロセス技術を利用して、GASONICS Aura 1000は幅広い材料を処理することができ、あらゆる研究開発や商用アプリケーションに最適です。NOVELLUS Aura 1000は、幅広い温度範囲（必要に応じて最大700°C）でエッチングを行うことができ、品質の高いエッチプロファイルと高スループットを保証します。NOVELLUS RIEシステムは、低温、高誘導コイルおよび制御エレクトロニクスで構成されており、正確な温度、圧力、エチャント流量制御を可能にします。これは、一貫したエッチプロファイルとプロセスの再現性を確保するのに役立ちます。Aura 1000はまた、GASONICS/NOVELLUS指向マイクロシャワーRIEを介して高度なエッチバック機能を提供します。このプロセスにより、垂直および水平の両方のプロセスで高精度で方向性の高いエッチングが可能になり、高精度と再現性が得られます。例えば、バックサイドのエッチング処理は、必要な深さ、ボイド、フィーチャーの形状とサイズを確保するために制御することができます。GASONICS RIEとNOVELLUS指向マイクロシャワー技術の組み合わせは、バッチとシングルウェーハモードの両方で利用可能であり、指向性エッチングを必要とする研究および生産プロセスの両方に理想的なツールです。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、高度に設定可能なオープンプラットフォームを備えたプラグアンドプレイツールです。さまざまなアクセサリーやオプションを使用して、ワークフローに合わせてシステムをカスタマイズすることもできます。それはGASONICS/NOVELLUSおよびGASONICSの一流の技術の両方を利用するように設計され、あなたの適用と成長できます。GASONICS Aura 1000は、信頼性と信頼性の高いエッチャーであり、両方の世界の最高を組み合わせたアッシャーです。高度なエッチバック機能、高精度な温度および圧力制御、堅牢な高スループット機能を備えたこのツールは、多目的で効率的なプロセスソリューションを求める科学者やエンジニアにとって便利なツールです。