中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293622463 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は高精度エッチャーまたはアッシャーです。超小型電子部品の製造に使用されるツールであり、半導体や電子機器の製造に広く使用されています。GASONICS Aura 1000は、最先端のエッチング技術と包括的な機能を組み合わせ、最先端のナノテク機器を製造するための強力で信頼性が高く経済的なツールを作成します。NOVELLUS AURA 1000は、ハイエンドのElectroChemical Processing （ECP）を使用して、従来のエッチング法よりも高精度のエッチングとプロセス欠陥の少ない処理を実現します。ECPは精密に計画されたエッチングを達成するために加速された、高エネルギーイオンを使用して信頼でき、非常に正確な技術です。Aura 1000は金属、誘電体、プラスチックおよび合金を含む材料の広い範囲と互換性があります。これにより、次世代半導体デバイスなどの製造に最適です。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、プロセス制御とエッチングの均一性を最適化し、時間とコストを節約するために設計されたさまざまな機能を備えています。これらには、高い位置精度、9種類のエッチングプログラムの範囲、小さな機能の正確なエッチングを保証するための高速10Xスキャン、統合フォルト検出、および非金属材料のエッチングを高速化するための調整可能なプリエッチサイクルが含まれます。これにより、エッチングの均一性、エッチングの選択性、位置精度がすべて最適化され、収率が高くなり、プロセス欠陥が少なくなります。GASONICS Aura 1000は、工具メンテナンスのための自動化されたシステムも備えています。これにより、オペレータは予防操作の計画と監視を簡単に行い、ダウンタイムを削減し、工具の寿命を延ばすことができます。さらに、GASONICSの最先端の診断ダッシュボードソフトウェアにより、オペレータはツールのステータスを迅速かつ継続的に監視し、傾向を評価し、プロセスパラメータを最適化することができます。全体として、NOVELLUS Aura 1000は強力で信頼性の高い精密エッチャーまたはアッシャーです。高精度のECPエッチング技術と幅広い高度な機能を組み合わせ、次世代ナノテクノロジー機器の製造に適しています。Aura 1000は、自動化されたメンテナンスおよび診断能力と相まって、高精度のエッチングまたはアッシング操作に費用対効果の高いソリューションを提供します。