中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293621802 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、半導体ベースの部品の製造に使用するために設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、エッチング、切断、およびその他のプロセスが可能です。RFエッチング、シーケンシャルエッチング、2チャンネルエッチング、先述の技術の組み合わせなど、幅広い技術を駆使し、最大8インチのサイズのウェハを熱処理することができます。GASONICS Aura 1000は、半導体製品の製造、開発、研究に使用される強力なエッチング/アッシャーユニットです。NOVELLUS Aura 1000は、さまざまなガス分配システムを使用して、ハードエッチングプロセスの精度と一貫性を向上させ、半導体基板のサイズが大きく均一な、より細かい分解能とクリーンなエッチプロファイルを可能にします。このユニットは、精密な温度設定からエッチング/アッシャーチャンバーの正確な温度制御を提供するように設計されており、精密なエッチングプロセスを実現することができます。さらに、高度なサーマルジェット換気機を搭載し、エッチング工程全体でプロセスチャンバと基板を均一に冷却し、基板の過熱やエネルギー廃棄を防止します。Aura 1000にはガス操作モジュールも搭載されており、エッチング/アッシャーチャンバー内の幅広いガスの圧力と組成を調整することができます。これにより、エッチング/アッシャープロセスパラメータが基板の処理期間中も一貫して維持されるようにしながら、ガス組成を即座に微調整できます。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、エッチング/アッシング機能に加えて、さまざまな便利な機能を提供します。高電圧、高出力パルス発生器は、高エネルギーパルスを作成することができ、エッチングするハード、耐久性、高密度エッチング/アッシャー層の作成を可能にします。また、ディープエッチングプロセス用の制御ツールを備えており、ディープエッチングの深さと基板全体の均一なエッチングプロセスを正確に制御できます。このユニットには、さまざまなプロセス時間/温度オートメーションオプションがあり、ユーザーは特定のニーズに合わせてエッチング/アッシャープロセスをカスタマイズできます。GASONICS Aura 1000は、さまざまなエッチング/アッシャー機能を提供し、生産、開発、研究環境にとって貴重なエッチング/アッシャー資産です。そのプロセスの範囲、制御オプション、およびガス操作機能は、ユーザーに多彩で強力なエッチング/アッシャーモデルを提供します、基板の広い範囲で一貫した信頼性の高い結果を生成することができます。