中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293619546 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、高度な微細加工および半導体製造プロセスで使用されるハイエンドエッチャー/アッシャーです。多段階アーキテクチャを備えたGASONICS Aura 1000は、精密制御、高い均一性、およびスループットの比類のない組み合わせを提供します。その高度な技術は、タイトな公差と特徴サイズと形状の均一性を含む、最新のデバイス生産の課題に対応するために適応することができます。NOVELLUS Aura 1000アーキテクチャは、生産スループットを最適化しながら、最大限の処理柔軟性を提供するように設計されています。マルチアクスメカニカルプラットフォームを備えており、振動を最小限に抑えながら、サイクル全体にわたって安定した均一なプロセス環境を提供します。そのモーター駆動とオートメーションは、プロセスの統合とレシピの高レベル制御を可能にします。内蔵の診断機能により、機器の性能と精度に関する迅速なフィードバックが可能です。Aura 1000は、化学物質や堆積材料の選択肢を数多く提供しており、ユーザーはさまざまな形状やその他の機能を作成することができます。また、放射エネルギーと調節可能なヒータープレートのさまざまなソースをサポートすることができ、最適なプロセスパラメータを維持するためのユニークな環境を提供します。このシステムは、石英、シリコンウェーハ、金属合金箔、有機ポリマー基板などの幅広い基板材料を処理することができます。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えた非常にユーザーフレンドリーです。Web対応デバイスから遠隔操作でき、拡張可能なデータ収集ユニットを内蔵しているため、他のオートメーションシステム、データベース、ソフトウェアパッケージに接続できます。複数のシーケンスファイルをサポートすることで、異なるアプリケーションのプロセス最適化を可能にします。GASONICS Aura 1000の高速電動ウェーハチャッキングマシンは、高度な保護対策とともに、サイクルタイムを短縮し、高速でより高い歩留まりを生成することができます。その複数のプロセスチャネルとオプションのin-situイメージングアセットにより、複数の基板を同時に処理できます。高度な自動化により、一貫した結果と最適なパフォーマンスが保証されます。NOVELLUS Aura 1000は、最先端のナノおよびマイクロスケールの製造に最適です。ハイエンドの機能と直感的なユーザーインターフェイスにより、これまでにない高精度制御と高スループットを提供し、ユーザーは最新の半導体プロセスの課題をナビゲートできます。