中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293594312 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、45nm以下のデバイス製造のための高度で高精度なプロセスを提供するように設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。従来のエッチャーは、基板の不要な部分を彫刻するために使用されますが、アッシャーは基板にフィルムを合わせるために化学プロセスを使用し、非常に細かく均一なディテールに「エッチング」する機能を提供します。GASONICS Aura 1000は、アッシャーの精度と従来のエッチャーの効率を組み合わせ、高性能、低コスト、柔軟性に最適化されたソリューションを提供します。NOVELLUS Aura 1000は、2つの磁気フィルタを使用して、正確にチューニングされた一致したエッチングとアッシング技術を提供します。1つ目のフィルタは真空ソースパスで、解像度が37。5nmまでの構造の超微細エッチングが可能です。これは現在、このクラスのetch/ashシステムで利用可能な最高の解像度です。2つ目のフィルタは、45nm以下の解像度でのコンフォーマルアッシングをサポートする不活性ガス源パスです。Aura 1000は、光学ビームイメージングとデジタルCCDカメラを組み合わせたin situ表面観測装置も備えています。このシステムは、表面プロファイルをインラインモニタリングし、エッチング条件を調整することで、精度、解像度、再現性を向上させることができます。また、窒化物、ポリシリコン、銅層などのエッチング用のフォトレジストトレースエッチングにも対応しています。マルチレベル処理機能は、GASONICS/NOVELLUS Aura 1000のもう一つの特徴です。このユニットは、最大12レベルのエッチング/灰で、1サイクルで複数のレイヤーを完全に並列処理することができます。これにより、1つの基板から別の基板へのエッチング/アッシュ条件のマッチングが最大限に柔軟になります。最後に、GASONICS Aura 1000は、他のエッチング/灰プロセスの迅速な適応を可能にするさまざまなプロセスモジュールを提供します。このモジュールは、追加のセットアップ作業を行うことなく、より高いスループットを達成することができるだけでなく、柔軟性の高いレベルをユーザーに提供します。要約すると、NOVELLUS Aura 1000は、高性能、低コスト、柔軟性に最適化された革新的なエッチャー/アッシャーです。2つの磁気フィルターとその場表面観測機は、比類のない解像度と再現性を提供する最先端のデバイスです。マルチレベルの処理能力とプロセスモジュールにより、多種多様なアプリケーションに最適です。