中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293586844 を販売中

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS AUR1000は、半導体デバイス製造に使用されるエッチャー/アッシャーで、基板上に平面および定義されたデバイス構造を作成します。GASONICS Aura 1000は、ガス供給モジュール、電源、物理プラットフォームの3つの主要コンポーネントで構成されています。これは、シリコン、石英、窒化物など、さまざまな基板材料に均一で高品質な結果をもたらすように設計されています。ガス供給モジュールは、幅広いプロセス化学および材料固有のアブレーションプロセスを可能にします。最大4つの前駆ガスと複数のアルゴンサポートガスの独立した制御を備えており、独自のジオメトリと層番号を持つ柔軟性を提供します。代表的な流量は0。1〜10SLPMで、必要な試薬の量を減らしながら正確なガス流量制御が可能です。圧力安定装置は、エッチング速度を調整し、表面の欠陥の形成を最小限に抑えるためにチャンバー内の圧力を制御することができます。この電源は、デバイスに優れた温度安定性を備えた信頼性の高い高精度電源を提供します。10〜100 µsの幅広いパルス制御機能を備えています。電源はまた、調整可能なパルス繰り返し速度と周波数で、最大400ワットの高い電力供給を可能にします。NOVELLUS Aura 1000の物理プラットフォームは、安定性、堅牢性、精度を考慮して設計されています。幅40"、長さ40"、高さ55"を測定し、振動制御用の絶縁基盤に取り付けられ、動きによるウェーハの破損を低減します。また、パーティクルフリープロセスチャンバーを搭載し、直径は20インチで、より大きなウエハサイズを一度に処理することができます。結論として、NOVELLUS/Aura 1000は、半導体デバイス製造用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。材料固有のアブレーションプロセスと優れた温度安定性を備えた信頼性の高い高精度電力供給により、柔軟性を提供します。さらに、粒子のない大規模プロセスチャンバーにより、より大きなウェーハをより高い精度と安定性で処理することができ、デバイス構造が明確に定義されています。