中古 GASONICS / NOVELLUS AE 2001 #293597599 を販売中

GASONICS/NOVELLUS AE 2001は、半導体デバイス製造に特化した、さまざまな材料を処理するために設計されたエッチャー/アッシャーシステムです。この機械は、ディープエッチング、フッ化水素エッチング、硫化エッチング、プラズマエッチングなど、さまざまなエッチングおよびアッシング操作を実行するために使用されます。マルチゾーンダイナミックプロセス制御を搭載し、精密な温度制御と圧力制御を可能にし、最適な処理を可能にします。GASONICS AE 2001は、機械加工されたアルミニウムベースから構成されています。真空チャンバー、真空ポンプとバルブ、および前面に構築されたコントロールパネルを備えています。プロセスチャンバーには、部品の積み降ろし用の2つのロボットと、プロセス加熱を容易にする2つのヒーター要素があります。また、エッチング薬品供給用とアッシング薬品供給用の2つのケミカルデリバリーシステムを備えています。NOVELLUS AE2001は、金属合金、誘電体、ポリマーなど、さまざまな材料を処理できます。それは受諾可能な化学均一性、高解像度および高精度の一貫した結果を提供するように設計されています。また、1次元の結果を保証するためにプロセスを監視するために使用されるオンボードデジタルカメラシステムを備えています。AE 2001は、ディープエッチング、フッ化エッチング、硫化エッチング、プラズマエッチング、ドライエッチング、ケミカルエッチングなど、幅広い機能とプロセスを備えています。これらの各プロセスは、同じ精度と精度で自動化され、処理されることができます。プロセスチャンバーは、安全で静かな操作を可能にするだけでなく、維持と清掃が簡単であるように設計されています。AE2001は、幅広い材料に適した信頼性と汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。マルチゾーンダイナミックプロセス制御、シャッタータイミングなどの自動制御、同じサイクルでのエッチングとアッシュ処理が可能なGASONICS AE2001は、あらゆるデバイス製造プロセスにおいて非常に貴重なツールとなります。容易な維持および操作と結合される信頼でき、正確な結果はそれを多くの適用のための理想的な選択にします。