中古 GASONICS / NOVELLUS A 2000LL #293595026 を販売中
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ID: 293595026
Asher
Part No: 99-0339
Non-copper
Components:
Qty / Make / Model / Description / Part number
(1) / - / - / Load lock chamber / A95-205-01 / 56-7923
(1) / GASONICS / 94-1175 / Indexer elevator / 04630-003
(1) / GASONICS / 94-1174 / Indexer elevator / 04630-004
(2) / GASONICS / 94-1118 / Load lock elevators / 04290-201
(1) / GASONICS / - / Loadlock rear panel display / -
(1) / MKS INSTRUMENTS / Baratron / - / 122A
(1) / MKS INSTRUMENTS / 152 / Pressure controller / 152H-P0
(1) / MKS INSTRUMENTS / - / Valve / 253B-11020
(1) / - / - / HNL Asher module / -
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281-701
(1) / VARIAN / - / Valve / L6281703
(1) / OMRON / Sysmac C40H / PLC / C40H-060R-DE-V1
PCB:
Make / Model / Description / Part number
GASONICS / - / Controller board / 90-2658
GASONICS / - / Display decoder / 90-2609
GASONICS / - / Loadlock interface BD / 90-2608
HINE DESIGN / - / ARM Controller board / 02423-001 / 06764-001
NOVELLUS / A2000 / Interlock BD / 90-2735
Wafer handling robot / arm unit missing
CE Marked.
GASONICS/NOVELLUS 2000LLは、高度な半導体製造のために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。高度なプラズマエッチング・アッシング技術により、各種材料のエッチング・アッシングを高精度に制御します。このデバイスは強力なマグネトロンを使用して高エネルギーのプラズマを作成し、さまざまな種類の材料をエッチングしてアッシュするのに非常に効率的です。パラメータを正確に制御する高度な制御アルゴリズムにより、プロセスの変動、再現性、歩留まりの向上を最小限に抑えます。GASONICS A 2000LLは、望ましいエッチングとアッシングの結果を得るために、高度な2チャンバーシステムを使用して、エッチングとアッシングの高い均一性と精度を実現しています。このプロセスは、最初のチャンバーにエッチングとアッシングガスの混合物を導入することによって開始されます。誘導結合プラズマは、材料をエッチングしてアッシングするために使用される無線周波数放射でガスを照射することによって生成されます。プラズマはエッチング/アッシング周期の終わりに停止し、チャンバーは処理ガスを空にします。その後、2番目のチャンバーで新鮮なエッチングとアッシングガスを導入してプロセスを継続します。また、高精度なエッチングとアッシング性能を実現する効果的な熱管理技術を採用しています。チャンバーの経路は温度制御され、プロセスの均一性と一貫性を確保します。このチャンバーでは、高圧洗浄サイクルが有効になり、横方向の過剰露出を低減します。このデバイスは、アプリケーションに応じてRFジェネレータの周波数と大きさを調整することもできます。NOVELLUS A 2000LLは、高度なプラズマエッチング/アッシング技術、強力なマグネトロンおよび効果的な熱管理技術により、高精度の各種材料をエッチングおよびアッシングする優れたデバイスです。優れた歩留まり、プロセスの再現性、および信頼性の大幅な向上を提供します。
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