中古 GASONICS / NOVELLUS 9102 #9238248 を販売中

GASONICS/NOVELLUS 9102は、微細加工およびナノ加工用途向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。薄膜エッチングやマテリアルスパッタリングに使用され、基板上に小さな特徴を作り出します。GASONICS 9102は、直径4インチまでの基板に25nmの特徴をエッチングすることができる2つの高出力KrFレーザーを搭載しています。さらに、NOVELLUS 9102には、最大4つの極低温配送システムと4つのエッチング/スパッタリング源が装備されています。9102は高度に自動化されており、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えているため、ユーザーはエッチングプロセスを素早くセットアップできます。GASONICS/NOVELLUS 9102は、光学モニタリング、圧力、温度などの複数のプロセス制御機能を備えています。このシステムには、自動再起動機能と動的熱制御ユニットも装備されています。GASONICS 9102は、シングルチャンバー、デュアルチャンバー、および大型ロードロックチャンバーを備えたシングルモジュールチャンバーなど、さまざまなプロセスチャンバーで利用できます。より複雑なシステムは、複数のチャンバーと大きなチャンバーサイズで利用できます。NOVELLUS 9102は、非常に高速なエッチング/スパッタリングが可能で、特に大量のアプリケーションにとって有益です。9102は、金属、半導体、ガラス、合金、セラミックス、有機材料など、さまざまな基板に適しています。さらに、WindowsベースのGUIソフトウェアは、リアルタイムのプロセス監視と最適化を可能にし、生産効率を最大限に高めます。GASONICS/NOVELLUS 9102の厚み精度は0。5％以上、再現性は0。3％です。要するに、GASONICS 9102エッチャー/アッシャーは、スピードと精度を兼ね備えた汎用性の高い機械で、高精度の微細加工とナノ加工が可能です。その高性能レーザーと動的熱制御ツールは、生産プロセスで信頼性の高いツールになります。NOVELLUS 9102はユーザーフレンドリーなGUIで使いやすく、幅広い基板に対応しています。