中古 GASONICS / NOVELLUS 9102 #9151439 を販売中

GASONICS / NOVELLUS 9102
ID: 9151439
Plasma etcher.
GASONICS/NOVELLUS 9102エッチャー/アッシャーは、高精度のダイレベル材料エッチングツールです。それは商業、産業および医学の適用の広い範囲に高精度の物質的な取り外しの機能を提供します。この装置は、材料エッチングおよび除去にパルスレーザービームを使用し、レーザービームを介して冷たい窒素ガスをポンプで送り、周囲の表面や部品を熱損傷から保護することによって動作します。MEMSや半導体デバイスの製造、医療機器の製造、ラボ・オン・チップなどに活用されています。GASONICS 9102は、繊細な基盤機能を損なうことなく、曲線、線、パターン、特徴をワークにエッチングするために設計されています。システムはプログラム可能で、複数のダイを一度に処理できます。ガラス、シリコン、特許、セラミック、金属など様々な素材にも対応可能です。高精度のF-Thetaフォーカシングユニットを搭載し、複雑な構造やサブミクロンのリソグラフィを行うことができます。NOVELLUS 9102は信頼性が高く、高速で効率的なエッチャーで、優れた品質パターンと機能を提供します。わずか10ft2という小さなフットプリントを持ち、研究施設や研究室で使用することができます。その高度に自動化された設計は、無人のエッチングと材料アプリケーションをサポートしています。その強力な機能は、リアルタイムレーザー制御によってさらに強化され、1回の周波数エネルギーパルスは10ナノ秒の持続時間で短くなります。9102はシンプルなユーザーインターフェイスを備え、優れた熱制御を提供し、均一なエッチング深度を実現します。また、微細な材料除去と微調整エッチング制御のためのガス混合機能を提供します。革新的な機械に速い処理速度があり、産業および医学の適用のための有効な選択をします。堅牢な構造とリーズナブルな価格のおかげで、研究者や商業エンジニアの間で好まれるようになってきています。
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