中古 GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9129593 を販売中

GASONICS/NOVELLUS 2000 IIは、さまざまな基材におけるエッチングまたはアッシングウエハの完全自動化された装置です。これは、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング用途に業界をリードするパフォーマンスを提供するように設計されています。GASONICS 2000 IIはGASONICS Integrated Technology Platform （ITP）をベースにしており、2つのレーザーベースの統合光学デッキを備えています。これにより、エッチングおよびアッシングプロセスで最高の解像度、品質、およびスループットを実現できます。NOVELLUS 2000 IIは、エッチングとアッシングの両方に使用される可変圧力（VP）処理を特徴としています。VP処理は、材料とプロセスの流れに応じて、プロセスチャンバ内の圧力条件を上下させることができます。これにより、ユニットのパフォーマンスを最適化し、生産性を向上させることができます。2000 IIには高度なプロセス制御（APC）などの様々な機能が搭載されており、材料やプロセスの流れに応じてエッチングやアッシング時にパラメータを調整することができます。このツールはオプションのマルチプロセスチャンバー（MPC）も備えており、複数のエッチングおよびアッシングプロセスを同時または順番に実行できます。また、このアセットにはハイエンドのビデオアシスト機能が搭載されており、オペレータは大型モニターや内蔵の診断モデルでウェーハ処理をリアルタイムで表示できます。これは、機器のパフォーマンスを監視し、エラーを迅速に検出するのに役立ちます。最後に、GASONICS/NOVELLUS 2000 IIには、カセットローディングユニットと重量ウエハ用アームローディングマシンを内蔵したウエハハンドリングシステムが統合されており、大型ウエハを迅速かつ効率的に処理することができます。GASONICS 2000 IIアセットのこれらの高度な機能は、半導体デバイスからMEM、 LEDなどのハイエンドエッチングおよびアッシング用途に最適です。その高い精度と精度は他のモデルに比類のないものであり、世界中のエッチングとアッシングラボに最適です。