中古 GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9093681 を販売中

GASONICS/NOVELLUS 2000 IIは、電子製品の製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。基板サイズは最大254mm （10インチ）で、パターン面積は最大81cm2 （12。6インチx 6。4インチ）です。金属、誘電体、合金、パリレンコーティング、ハードベークフォトレジストをエッチングできます。GASONICS 2000 IIは、プラズマエッチングにCOSTビーム（エッチングによるスパッタ制御）という特許技術を使用しています。このマシンは、高速で正確なプロセス制御と組み合わせた高スループットのために設計されています。また、プラズマエッチングプロセスを強化するための自動BOOSTビームも装備されています。NOVELLUS 2000 IIはプロセスチャンバーに1〜4 mTorrのプロセス圧力範囲を持ち、プロセス時間は最大20分です。これは、3。2 µm以上の高速臨界寸法（CD）精度を持っています。オプションのソース配列を使用して、マシンのエッチング機能を拡張できます。これには、高出力CEMレーザー源、DCスパッタ源、OESまたは電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ源が含まれます。プロセス温度制御は、蒸発ベースの冷却と下向きの対流冷却の組み合わせを含む高度な冷却オプションと相まっています。2000 IIは、基板加熱システムと高速ガス供給を統合したフルメタルのデュアルステージプラットフォームです。2リットル（低圧エッチング）および4。85リットル（高圧エッチング）のプロセスチャンバー容積をエッチングに使用できます。GASONICS/NOVELLUS 2000 IIには、レーザー分光計、リアルタイム粒子モニター、リアビューオプティカルプロファイラを含むプロセス監視装置が組み込まれています。LT製品は高度なプロセス制御に使用できます。Benchtop Vision Systemを搭載し、プロセス制御を向上させています。GASONICS 2000 IIは、銀、銅合金、パリレンコーティングなどの幅広い材料をエッチングするための理想的なツールです。高精度、プロセス制御、監視装置により、無駄を最小限に抑えた複雑なパターンを作成するのに理想的な選択肢です。