中古 GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9251583 を販売中

このエッチャー/アッシャーは、IPCによって製造された高速自動ウェットプロセス機械です。ウエハ、厚膜、シリコンなど様々な基材のエッチング・アッシングが可能です。このシステムは、酸/溶媒と周囲タンク、作業ゾーン、オーブンゾーンの3つの領域で構成されています。酸/溶剤タンクには、最大15インチの4/100mmウェーハを保持できるバスケットトロリーが含まれており、最大3つの独立したタンクに精密な酸制御を提供します。溶剤および酸の量は機械によって自動的に調整することができます。バスケットのトロリーはクリーニングのためにタンクから取除かれ、タンクは補充することができます。作業ゾーンはプロセスの中心であり、エッチングまたはアッシング動作を実行します。マイクロコントローラはインジェクターヘッドを作動させ、ウェーハステーションに酸/溶剤を供給します。また、マイクロコントローラはSCRパワーコントローラを制御し、エッチング/アッシュプロセスを電子的に活性化するための高周波エネルギー源を提供します。これは、他のすべてのプロセス条件が一定に保たれている間、エッチング/アッシュを同時に実行できるため、マシンが本当に輝く場所です。オーブンゾーンは、エッチング/アッシング処理後にウェーハを乾燥させるのに役立ちます。オーブンの部屋はステンレス鋼から構成され、最終的な乾燥プロセスのための700 Cまで温度に達することができます。温度は調節可能な時間および温度変数セットと置き、制御することができます。全体として、GASONICS/BRANSON/IPC 9104は正確で正確なエッチャー/アッシャーです。これは、高速プロセスだけでなく、調整可能な時間と温度パラメータセットを備えています。機械はまたエッチングされた/ashedプロダクトの完全な乾燥を保障するためにステンレス鋼のオーブンの地帯を含んでいます。この機械を使うと、ユーザーは優秀な結果を毎回期待できます。