中古 GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9196372 を販売中
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ID: 9196372
ウェーハサイズ: 4"-6"
Plasma asher, 4"-6"
P/N: 15698-02
QUARTZ Chamber
With ENI OEM-12B-06 RF Generator
Power control
BIS 15677-02.
GASONICS/BRANSON/IPC 9104は、医療、光学、その他の業界で高いスループット、高い歩留まり、高品質の結果を維持するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、Si、金属、ガラス、および他の多くの基板をエッチング、クリーニング、機能化するための複数のソース液体ジェットを備えています。IPC 9104は、独自のアクティブ温度制御装置を使用して、エッチングとアッシングに最適なプロセス温度と均一性を提供します。このシステムにより、エッチングやアッシング時の迅速なプロセス変更と正確なプロセス制御が可能になります。さらに、このエッチャー/アッシャーは、一貫したエッチング/灰プロファイルと優れた均一性と表面を保証する高度なデジタル振動攪拌ユニットを誇っています。その高度なデジタル振動攪拌機は、不要な反応製品を排除し、欠陥と変動を最小限に抑えるのに役立ちます。BRANSON 9104は、高度なアナログNiS/InS構成PCプラットフォームを搭載しています。このPCプラットフォームは、リモートプロセスの監視、レシピの保存と編集、統計的プロセス制御、プロセス履歴のアーカイブを可能にします。さらに、強力なNiS/InSプラットフォームにより、複数のプロセスパラメータにわたるプロセスのカスタマイズと最適化が可能になります。9104は、高いスループット、高い歩留まり、エッチングおよびアッシングプロセスによる高品質の結果を求めるユーザーにとって理想的なソリューションです。高度なデジタル振動攪拌ツール、アクティブ温度制御アセット、および強力なNiS/InS構成PCプラットフォームのおかげで、このエッチャー/アッシャーは最高レベルのパフォーマンスで一貫した結果を生み出します。さらに、その設計は、プロセスのカスタマイズと最適化を可能にし、すべてのタイプのユーザーのために操作することは簡単です。
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