中古 GASONICS Aura 1000 #293831504 を販売中

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、ナノメートルスケール集積回路の大量生産用に設計された先進的なエッチャー/アセール装置です。このシステムは、10nmの寸法を持つエッチングおよびアッシング機能が可能であり、幅広いアプリケーションに適応できる信頼性の高いモジュラーアーキテクチャに基づいて構築されています。このユニットは、高度な技術を使用して、最高の収率と最も複雑な機能の最も正確なエッチングとアッシングを可能にします。ナノメートルスケールの寸法を持つトランジスタやその他の電気部品を作成するために使用できます。このマシンには高度な制御ソフトウェアが付属しており、エッチングとアッシングプロセスをリアルタイムで可視化し、必要なフィーチャージオメトリが毎回生成されるようにします。このツールには、自動および半自動のクリーニングシステムと、FOUP（フロントオープニングユニファイドポッド）およびPOAT（ポーランドおよび酸化物アプリケーショントレイ）ローディングシステムが含まれており、継続的かつ効率的な操作を保証します。アセットには高度な2。5 kWイオンソースが搭載されており、最適なエッチングとアッシングの結果を得るために調整することができます。NOVELLUS/GASONICS Aura 1000は、RFセルフクリーニングモデルや専用パーティクルフィルターなどの高度な汚染制御機能も備えています。クリーンルーム環境を維持し、汚染や粒子損傷のリスクを最小限に抑えます。これにより、ナノメートルスケールの集積回路を高収率で生産できます。高度な機能に加えて、システムは、メンテナンスと修理のための高レベルのサポートで、最大の稼働時間と信頼性のために設計されています。また、柔軟性と拡張性を兼ね備えた設計となっており、幅広い用途にご使用いただけます。GASONICS/NOVELLUS/NOVELLUS AURA 1000は、高度な自動化、ソフトウェア制御、高度なエッチング/アッシング技術により、ナノメートルスケール集積回路の大量生産に最適なエッチング/アッシング機です。