中古 GASONICS Aura 1000 #293827650 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、半導体製造プロセスで一般的に使用されるエッチャー/アッシャーです。大型のメインエッチングチャンバー、ロードロックチャンバー、クリーンチャンバーを備えたマルチチャンバーシステムです。超紫色光源を内蔵し、独自のイオンビームエッチング技術を使用して、精密なエッチング結果を提供します。アスペクト比の高いディープエッチング機能を備え、誤差のマージンと+/-15nmの精度を備えています。2um幅と2um深さまでのディープエッチング機能に使用できます。シリコン、アルミニウム、銅、タングステンなど様々な材料を加工することができます。反復スキャン機構により、ウェーハの高スループットエッチングが可能です。1回のパスで約3分でより大きなウェハをスキャンすることができ、作業時間とコストを削減できます。また、デュアルウェーハシャトルワゴンを搭載し、ウェーハの入出力能力を高めています。高度なユーザーインターフェイスにより、圧力、電圧、電流などのパラメータを調整して最適なエッチング結果を得ることができます。GASONICS Aura 1000は、精密なエッチング方法と優れた再現性で知られています。NOVELLUS Aura 1000は、高精度なパターン転送、ダイオンダイスタッキングなどの複雑なエッチング用途に最適です。半導体、太陽電池、自動車、家電分野で広く使用されています。Aura 1000に質のエッチングの結果を保障するのを助ける多数の高度の特徴があります。これらの機能には、クローズドループ校正および制御、高電圧サージ保護、保護シールド、正確な温度および圧力制御、および自動ウェーハアライメントが含まれます。結論として、GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、精度と信頼性を念頭に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。アスペクト比の高いディープエッチング機能、高いスループットスキャンメカニズム、数多くの高度な機能で知られています。GASONICS Aura 1000は、さまざまなアプリケーションで使用できる汎用性と信頼性の高いツールです。