中古 GASONICS Aura 1000 #293827649 を販売中

GASONICS/NOVELLUS 1000は、高度なプラズマエッチングと蒸着プロセス用に設計された半導体アッシャー/エッチャーです。標準の8インチ、300mmウェーハカセットに50個以上のウェーハを収容できる大容量プロセスチャンバーを備えています。チャンバーは加圧され、最適なガス管理とプロセス汚染物質の削減を可能にします。また、複雑な工程にも対応できるロボットを装備し、高い信頼性と再現性で多軸動作を実現しています。GASONICS A 1000は最先端のマイクロプロセッサと制御ロジックによって駆動され、複雑なプロセスを正確に実行します。プロセスを管理するデジタルデータは、一般的に使用されるGASONICSプラズマ言語（GPL）で書かれており、各プロセスに合わせて調整されています。NOVELLUS A1000には、NOVELLUS SPC- 1000™ソフトウェアも搭載されており、プロセスを監視および制御するためのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供します。SPC- 1000™を使用すると、プロセス中にリアルタイムでパラメータを監視、制御、調整したり、レシピ、データ、結果を保存したりできます。ベースのGASONICS/NOVELLUS A1000モデルには、誘導結合プラズマ源とダイオード検出電子ビーム源が付属しており、高度な均一性制御と優れた材料品質で高速なパッシングと高速蒸着を可能にします。酸素および窒素の形態を含むPwnerの選択可能なプロセスガスは材料のクリーニング、酸化、沈殿およびエッチングを可能にします。また、2段ロータリーふるいポンプと低メンテナンスターボポンプからなるターボポンプシステムも搭載しています。A 1000は、標準的なエッチングおよび成膜機能に加えて、エッチング前のクリーニング、エッチング後のクリーニング、不動態化および除去プロセスのオプションも提供します。GASONICS A1000は、エッチングと蒸着プロセスを1つのツールに組み合わせることで、デバイス製造技術に対する効率的で信頼性の高いアプローチを提供します。NOVELLUS A 1000は、高度なプロセス制御と多くの高性能機能により、優れた結果と高度な制御を提供することができます。