中古 GASONICS Aura 1000 #293814135 を販売中

GASONICS/NOVELLUS 1000は、高効率で精密なエッチングとアッシング結果を提供するエッチャーまたはアッシャーです。この高度なエッチャー/アッシャーには多くのユニークな機能があり、産業および科学的用途に最適です。GASONICS A 1000は、自動ステージおよびノズル装置、自動問題解決装置、および堅牢な処理チャンバーで構成されています。完全に自動化されたステージシステムにより、基板の正確な移動が可能になり、ノズルユニットは最大7 torrのプロセス圧力と幅広いプロセスガスを提供します。このエッチャー/アッシャーには、プロセスの問題を特定して解決するための自動問題ソルバーも装備されています。堅牢な加工チャンバは、幅広い材料およびプロセス条件にわたって再現可能な結果をもたらし、安定したプロセス環境を提供します。NOVELLUS A1000は、高度なマルチステッププラズマエッチングとアッシングプロセスを最大限の精度と精度で利用しています。プラズマエッチングプロセスは、制御電圧とパワーを使用してパターン化された金属構造を作成します。アッシングプロセスは、一連のパルスとタイムパルスを使用して、基板からターゲット材料を除去します。これらのプロセスを組み合わせることで、幅広い材料に対して高精度かつ再現性のある結果を得ることができます。NOVELLUS A 1000は、シリコン、金属合金、ガラスなど、さまざまな基板を取り扱うことができます。このエッチャー/アッシャーはまた、酸や塩基を含むさまざまな化学物質と互換性があるように設計されています。これにより、特定のプロジェクトのニーズに合わせてプロセスを調整できます。1000は、さまざまなセンサー技術と互換性があり、真空ポンプやセキュリティ機能などの追加機能を使用して構成することができます。全体的に、GASONICS/NOVELLUS A1000は、効率的で正確なエッチングとアッシングの結果を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。堅牢な加工チャンバーと高度な自動ステージおよびノズル機械、自動問題解決機、および幅広い互換性のある材料および化学薬品を組み合わせています。GASONICS A1000は、さまざまな基板や材料の精密エッチングとアッシングに最適です。