中古 GASONICS Aura 1000 #293811532 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、半導体集積回路（IC）製造に使用されるエッチャー/アッシュ機器のクラスです。このEtcher/Asherシステムは、精密プラズマエッチングおよび化学蒸着（CVD）処理を行うように設計されています。大小のウエハに素材をエッチング・堆積させる精度に優れています。このユニットには、2つの独立したソースチャンバーと、さまざまな材料蒸着を処理するためのロードロックチャンバーがあります。高精度のXYZステージを備え、エッチングやCVDプロセスにおいて正確な直線運動と角度運動を提供します。また、ウェーハを300度まで回転させることができるロータリードライブも追加されており、簡単かつ正確なアライメントが可能です。プラズマエッチャー/アッシャーには、0。005-25 torrの真空範囲と5-1000 mTorrの圧力範囲を持つ反応イオンエッチング（RIE）チャンバーがあります。高密度プラズマエッチングをサポートする強力なRF電源を備えており、最大出力範囲は75kWです。蒸着速度は、毎分0。001-1。8 μ mの範囲で調整可能です。GASONICS Aura 1000は、高度なプラズマ成形、ステップエッチング、スリットエッチング技術などの高度なプラズマ制御機能を備えています。また、ウェーハが適切に保護されていないときに機械に警告するアラーム機構や、電気アークや火災のリスクを低減するRFセンシングなど、高度なウェーハ処理と安全機能を備えています。NOVELLUS Aura 1000 Etcher/Asherは、高精度、柔軟性、再現性を提供するため、IC製造用の信頼性の高いツールです。アセットはグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介して制御することができ、オペレータは直感的にプロセスパラメータを制御し、リアルタイムで進捗状況を監視することができます。このモデルは、メモリやロジックデバイス、MEM、ディスプレイなど、さまざまな先進技術と互換性があります。