中古 GASONICS Aura 1000 #293810521 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、耐久性と高度なエッチャーまたはアッシャーです。この装置は、さまざまな基板上の多層地形パターンを可能にするように設計されています。エッチングされる表面は、ガラスや石英のような平らな基板から、シリコンのような曲面までさまざまです。GASONICS Aura 1000は、設定に応じて最大75分のプロセス拡張ランタイム範囲を誇り、正確な開始から終了までのエッチングスケジュールを可能にします。オールインクルーシブシステムは、信頼性の高いセラミック冷却サブチャンバーを備えており、生産性の向上と粒子降下の低減に役立ちます。NOVELLUS Aura 1000には最先端のAtlasソフトウェアスイートが装備されており、ユーザーにプロセスのより正確な制御とフィードバックを提供します。統合されたin-situ End Point Detection （EP）機能により、エンドポイントの正確な制御が可能になり、全体的なパターニング性能が大幅に向上します。このソフトウェアは、EMFの変動を最小限に抑え、優れた再現性とトレーサビリティを提供できる微細な粒子プロセス制御とオートメーションを利用しています。これにより、ユーザーは精度と比類のない精度で複雑な構造を設計することができます。メンテナンスプロセスを合理化するモジュラー設計で構築されたAura 1000は、強力なDCバイアスを両方向に適用できるデュアルエンド静電ドライブで構成されており、エッチング結果をより幅広く改善します。このユニークな機能は、厚膜11ジャンパーマトリックスのユニットを介して達成され、ユーザーは事前にプログラムされたロジックステップを通じてリアルタイムでパターンを変更することができます。これらの機能はすべて、最大のプロセス柔軟性というユーザーにとって重要な利点をもたらします。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、さまざまなガスやプラズマ化学物質と快適に動作し、ユーザーは手元のタスクに自分のプロセスを調整することができます。優れたプロセス品質を保証するタイトシールノズルを備えたこのマシンは、さまざまなユーザーニーズに対応でき、GASONICS Aura 1000は、プロセスの柔軟性を最大限に高めるために必要なツールです。