中古 GASONICS Aura 1000 #293764333 を販売中

GASONICS/NOVELLUS A 1000は、主に半導体製造に使用される高度なエッチャー/アッシャーです。フロントエンドプロセス機能と後処理逆角洗浄技術の両方を備えたフル機能のエッチャー/アッシャーです。GASONICS A 1000は、10ゾーンの高度なプラズマ源を備えており、均一なオーバースプレー除去を提供し、粒子の汚染を最小限に抑え、プロセスの再現性を向上させます。このマシンの高度なフォトマスク操作により、BEOLやBEOL/バックエンド （ULEおよびBAL）フォトマスクなど、さまざまなフォトマスクの欠陥のない処理が可能になります。エッチャーは、最大直径200mmのウエハーと、200mmから6インチのウエハサイズのウエハーを加工できます。そのユニークなエッチングウィンドウは、マシンの性能を損なうことなく、個々のパラメータに従ってプログラムおよび最適化することができます。NOVELLUS A1000は、様々な誘電体や半導体材料を処理することができ、内部ゲートレベルのクリーン技術により、低汚染プロセスの結果を保証します。高度な排気装置はまた、傷を排除しながら、効果的かつ長期的な空気ろ過を保証します。エッチプロファイルを管理するために、このマシンにはさまざまなウエハーとテスト用の基板のプロファイリングを可能にするスキャンセレクトテクノロジーが付属しています。また、エッチングされたフィーチャーのプロファイルをより正確に制御するための3Dサーフェスパターンも提供します。また、基材の温度制御エッチングを可能にする温度制御システムや、ウエハ形状やプロファイルを監視するクリーン診断ユニットを搭載し、リアルタイムのプロセス制御が可能です。全体として、A 1000は、最高レベルの産業要件を満たすように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。高度なプロセス機能から高水準のクリーン診断マシンまで、多くの機能を備えているため、エッチングやアッシングアプリケーションに最適です。