中古 GASONICS Aura 1000 #293746361 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、ウェーハ加工用に設計されたエッチャー/アッシャーです。高精度エッチングを必要とする高度な半導体ICデバイスを製造することができます。リアルタイムプロセスモニタリングと制御を提供する高度な制御を備えており、エンジニアは半導体の生産において優れた性能を正確かつ一貫して達成することができます。GASONICS Aura 1000は、電子サイクロトロン共鳴（ECR）と呼ばれる独自のエッチング技術を使用しています。この高度な技術により、制御性と高精度なエッチングが可能になり、より高い機能性チップが得られます。さらに、ECRエッチング装置は、エッチング/アッシャー時間の短縮とスループットの向上、生産性と予測性の向上を可能にします。NOVELLUS Aura 1000はモジュラーアーキテクチャで設計されており、業界で常に進化しているプロセスの要求に応じて簡単にインストールおよび拡張性を実現します。最先端の制御システムを搭載し、途切れることのないプロセス監視、異常な性能や異常なプロセス状況の監視、機械性能を最適化するための制御パラメータを自動的に学習・調整する制御ユニットを備えています。統合された制御ツールには、リアルタイムのプロセス監視と制御も含まれており、エッチャー/アッシャープロセスを正確に調整できます。このアセットには、強力で高度なウェーハハンドリングモデルと複数のウェーハローディング構成も備えています。さらに、Aura 1000は小さなフットプリントで設計されており、小規模生産には好ましい選択肢となっています。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000は、ワンクリック処理のための複数のレシピ、簡単なセットアップのための事前定義されたレシピ、リアルタイムの視覚的監視と制御のためのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を含む、高度なプロセス制御機能のフルレンジを提供します。これにより、高品質のチップを製造するための正確で一貫した処理が保証されます。さらに、この機器は高度なデータ管理とトレーサビリティを提供し、結果を世界中のステークホルダーと保存して共有することができます。全体として、GASONICS Aura 1000は、ウェーハ製造環境に理想的なエッチャー/アッシャーの選択肢であり、これまでにない制御と精度、高効率なプロセス、および変化する生産ニーズに対応する拡張性を可能にするモジュラーアーキテクチャを提供します。このシステムは、予算内で超高品質の半導体デバイスを生産するための強力で現実的なソリューションを提供します。