中古 GASONICS Aura 1000 #293690392 を販売中

GASONICS Aura 1000は、最も要求の厳しいプロセスのために設計された洗練されたエッチャーとアッシャーで、100mmウェーハ処理から400mmウェーハ処理までの機能を備えています。この洗練されたエッチャーとアッシャーにより、サンプル損傷を最小限に抑えた高性能プラズマエッチングとアッシングプロセスの結果が得られます。このシステムは2つのソースチャンバーを備えており、ユーザーは最大3つのチャンバとオプションのアッシングチャンバーでツールを構成できます。各ソースチャンバーには2つの独立したガス源があり、正確なプロセス要件を達成するために幅広いオプションが用意されています。システムは、正確なプロセス制御を確保するために、直感的なWIN TESSソフトウェア専用コントローラを介して制御されます。基板バイアスおよびステージ温度に対する信頼性の高い正確な温度制御は常に維持され、一貫した再現性のある結果を提供します。このシステムは、エッチバイアス、真空レベル、流量、シース流量、および圧力がオンボードガス源の精密なキャリブレーションによって制御可能な高度なプロセス制御機能を提供します。Aura 1000には、RMA （Retainable Membrane Unit）を組み込んだオプションのチャンバーも含まれています。特許取得済みのRMA技術は、特定のアプリケーションではるかに高い収量を提供します。GASONICS Aura 1000は、ガス圧力、流量、温度、真空レベルなどの有用なプロセスパラメータをリアルタイムで監視および表示することにより、フォールトトレランスを提供するように設計されています。これにより、ユーザーは歩留まりを増やし、損傷のリスクを最小限に抑えて一貫したパフォーマンスを達成できます。このマシンの直感的なオペレータディスプレイパネルは、問題の特定、理解、解決に必要な情報を一目で確認できます。Aura 1000は、優れた均一性とエッチング性能を提供しながら、サイクル時間を短縮するように設計されています。GASONICSの比類のないサポートと世界をリードするプラズマエッチングとアッシングプロセスにより、ユーザーは常に迅速なターンアラウンドを保証します。