中古 FULINTEC FU-16PEB #9181351 を販売中

FULINTEC FU-16PEB
ID: 9181351
ヴィンテージ: 2011
PECVD System 2011 vintage.
FULINTEC FU-16 PEBは、精密エッチャーとアッシャーのリーディングプロデューサーであるFULINTECによって設計および製造されたエッチャー/アッシャーです。この業界グレードの機器は、最大16個のウェーハを同時にエッチングまたはアッシングすることができ、生産環境に最適です。高度な技術を使用して設計されており、各ウェハの独立した温度制御、エッチングまたはアッシング剤の精密濃度、およびウェーハの処理時間を制御するタイマーなどの機能が含まれています。FU-16 PEBの独立した温度制御は、内蔵のPID (Proportional Integral Derivative)コントローラを介して行われます。これにより、各ウェハを異なる温度で処理することができ、各ウェハに最適な結果が得られます。精密濃度制御により、適切な量のエッチングまたはアッシング剤のみが使用されるため、費用対効果が高く効率的です。FULINTEC FU-16 PEBの温度範囲は20°C〜450°Cで、さまざまなエッチングやアッシングプロセスに適しています。これには、ユーザーがプロセス時間を事前に設定できるタイマーが含まれているため、各ウェハの処理時間を簡単に制御できます。また、プロセスパラメータと現在のステータスに関する情報を提供するLCDディスプレイも備えています。PEBのチャンバーFU-16 14リットルの容量を持ち、ステンレス鋼で構成されています。温度制御されているように設計されており、温度がチャンバー全体に均等に分布し、不均一な熱分布によって引き起こされる損傷を防ぐことができます。FULINTEC FU-16 PEBは、中央またはローカルのガス供給に接続することができ、ユーザーはエッチングまたはアッシング剤の供給を制御することができます。また、ショックアブソーバ、ウェーハホルダー、サンプルホルダー、ガスレギュレータ、その他の各種コントロールなどのアクセサリにも対応しています。FULINTECのこのモデルは、正確かつ一貫した結果を提供することができる信頼性の高い堅牢な機器です。最先端の技術を用いて設計されており、最大16個のウェーハを同時に処理することができ、ユーザーの生産効率を最大限に高めます。独立した温度制御、精密制御、タイマーにより、ユーザーはエッチングまたはアッシングプロセスを完全に制御できます。一方、堅牢なステンレス鋼の構造により、デバイスの長期的な信頼性と性能が保証されます。
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