中古 FEMTO COGRADE RF300 #9066064 を販売中

FEMTO COGRADE RF300は、実験室で使用するために特別に設計されたエッチングおよびアッシング機です。サブミクロンフィルムの成膜やエッチング、高精度マイクロマシニングなどの材料加工に最適です。RF300には、完全にプログラム可能なRFジェネレータと独立したエッチングチャンバーが装備されています。コントロールパネルはユーザーフレンドリーで、エッチングとアッシングのサイクルを作成するための直感的で強力なインターフェースをユーザーに提供します。このジェネレータは5kHz〜2MHzの周波数が可能で、1つの波または2つのRF信号の組み合わせを最大4つのチャネルに提供できます。また、低いマグネトロン電力、低い内部インダクタンス、良好なフィールド均質性を備えています。RF300のエッチングチャンバーは赤外線ランプを介して加熱されます。温度は0°Cから300°Cに調節することができます。これにより、そのレベルまでの温度で材料を処理するのに適しています。また、エッチング工程を観察するための光学検査ポートも備えています。COGRADE RF300は、幅広いアプリケーションを可能にする他のプロセスもサポートしています。これには、ウェットエッチング、ウェットクリーニング、パッシベーション、陽極エッチングが含まれます。これらのすべての機能を利用するために、サイクル中のガスの正確な制御を可能にするin-situガス供給システムも装備されています。FEMTO COGRADE RF300は、システム圧力を一定に監視するための専用の真空コントローラも備えています。これにより、手動校正の必要がなくなり、正確な結果が得られます。さらに、エッチャーは、エッチング表面の結果を正確に分析するのに便利な光学顕微鏡などの他の機器と組み合わせて機能することも可能です。全体的にCOGRADE RF300は、幅広いアプリケーションに強力な制御、精度、柔軟性を提供します。直感的なユーザーインターフェイスにより、非常に使いやすく、信頼性が高いです。これにより、あらゆるラボ環境に最適なツールとなります。