中古 EUROPLASMA CD300 PLC #9409746 を販売中

EUROPLASMA CD300 PLCは、半導体、オプトエレクトロニック、MEMS、太陽電池産業における高度なプラズマ処理用途向けに設計されたプラズマエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、プロセスパラメータを最適化するための直感的なタッチスクリーンインターフェース、安全性の向上、およびさまざまなタイプの基板の自動ロードとアンロードのための特許取得済みのシングルスロットユニットを備えています。CD300 PLCには、サンプル輸送および遠隔プラズマ監視に使用できる2つのサイドポートを備えた大型プラズマチャンバー（915 mm x 690 mm x 795 mm）があります。EUROPLASMA CD300 PLCは、直径300mmまでの基板を加工できる高出力、無線周波数（RF）駆動、プラズマエッチング/アッシング機です。このツールは、高効率で低温の化学反応を用いて、精密で再現性のある化学エッチングとアッシングを可能にします。プロセス圧力およびRF力は動的に調節可能で、特定の適用のために調整することができます。PLC CD300また、各プラズマ処理プロセスを監視する自動品質管理資産を備えています。基板温度、プロセス時間、プラズマ密度、化学組成などのプロセスパラメータをリアルタイムで監視し、将来の参照のためにログファイルで監視することができます。このモデルには、ロボットトランスポート機器と統合してプロセスの完全な自動化を容易にすることができる独自の自動サンプルローダーも含まれています。エッチング/アッシング処理は完全に密閉された環境で行われ、すべてのプロセスガスは最適な濃度で監視および保管されます。EUROPLASMA CD300 PLCは、高効率プラズマエッチングおよびアッシングに加えて、プラズマ表面洗浄、パッシベーション、蒸着プロセスにも使用できます。安全機能には、雷の保護と保護を備えたフルゾーンインターロックがあり、プロセスの汚染や人員の危険から保護します。さらに、高効率の残留ガス分析装置とプロセス監視装置を備えており、プロセスの変動を正確に把握することができます。全体として、CD300 PLCは、高度なプラズマ処理プロセスに精密制御と再現性を提供する強力なプラズマエッチング/アッシングツールです。大型チャンバーサイズ、自動サンプルローディング、安全機能、リモートモニタリングにより、さまざまなプラズマ処理に最適です。