中古 EUROPLASMA CD1000 Nanofics #9311808 を販売中

EUROPLASMA CD1000ナノフィックスは、半導体マイクロマシニング用途向けに特別に設計されたドライエッチングおよびアッシングシステムです。高精度の空気と反応性ガスのプラズマ処理を一体化し、極薄で均一なエッチングプロファイルとタイトな機能制御を実現します。CD1000ナノフィックスは、正確で自動的なエッチングとアッシング速度と圧力調整を可能にするデュアルレベルのマスフローコントローラを備えています。これにより、プロセスの再現性が向上し、より正確なエッチング/アッシュプロファイルが得られます。また、低圧RF発電機を搭載しており、より低い圧力でより高いプラズマ密度とイオンエネルギーに到達することができます。これにより、材料を非常に低温でエッチングすることで、熱損傷を最小限に抑え、より均一なエッチング結果を得ることができます。EUROPLASMA CD1000 Nanoficsは、ユーザーが独自のプラズマプロセスをカスタマイズしてプログラムできるオープンソースプラットフォームです。Si、 SiO2、 SiN、 SiC、 GaN、有機誘電体など、幅広い材料向けに設計されています。それは10nmまたは以下の厚さにエッチングするか、または50nmと小さい特徴のサイズと灰できます。大気圧と低圧の両方でエッチングおよびアッシングが可能で、-60°Cまで低温に達することができます。また、サブ100nmフィーチャーエッチング用の自動in-situ基板ホルダーも備えています。ホルダーはマイクロ負荷を低減し、より反復可能で正確な機能を可能にします。全体として、CD1000 Nanoficsは、さまざまな材料の高速で精密な微細加工のために設計された高度なエッチングおよびアッシングシステムです。低温、低圧プラズマ技術、低熱損傷、再現性の両立により、半導体エッチングおよびアッシング用途に革命をもたらしました。