中古 E&R Plasmax 800C #293748025 を販売中

E&R Plasmax 800Cは、多くの材料のプラズマ強化ドライエッチング用にE&Rによって設計されたエッチャー/アッシャーです。Plasmax 800Cは、ユーザーに最高の精度と再現性を提供し、一貫性のある部品品質を保証するために設計された、薄膜成膜および化合物半導体デバイス製造に使用される強力なツールです。この装置は堅牢な基盤設計を備えており、振動の減衰、バランスの取れた制御、メンテナンスと保守のための容易なアクセスなど、信頼性の高い長期運用を可能にします。ユーザーインターフェイスは包括的で使いやすいため、ユーザーはすばやく立ち上がって実行し、複雑なエッチングパターンを迅速かつ簡単に作成できます。E&R Plasmax 800Cの中心には、優れたエッチング性能を提供するように設計された統合された高圧プラズマ源があります。このプラズマ源は幅広い圧力で動作し、調整可能なパラメータにより、プロセスのガス化学、温度、および種の分布を正確に制御できます。より高い圧力で動作する場合、システムはエッチング選択性と選択性制御を最大化し、低圧では多くの材料のバッチ処理に使用できます。Plasmax 800Cは完全に自動化されており、ユーザーは特定のエッチングパターンやプロセスのレシピをプログラムして保存することができます。ソースとプロセスの完全自動制御機能により、プロセスの一貫性と精度が向上し、お客様独自のカスタムプロセスを作成できます。さらに、レーザー高さ計測や保護硬化コーティングなどのオプション機能を強化し、幅広い材料で幅広いプロセス技術を実現しています。さらに、E&R Plasmax 800Cには、プロファイルベースのレシピ、シングルステップウェハパターン認識、レシピのプログラムと保存機能など、機械操作を簡素化するために設計された直感的なソフトウェアツールが付属しています。Plasmax 800Cはパワフルで使いやすいエッチャー/アッシャーで、業界をリードするパフォーマンスと柔軟性を提供します。優れたエッチレート、優れた選択性コントロール、信頼性の高い再現性のある結果を提供し、マニュアルプロセスから高効率で自動化されたプロセスに素早く簡単に移行できます。