中古 E&R Plasmax-602A #9157568 を販売中

E&RのPlasmax-602Aは現代生産ライン製造の必要性を満たすように設計されている非常に信頼でき、精密なエッチャー/asherです。16位置のカルーセルを備えた革新的な「オープンアーキテクチャ」を備えており、最大16個のウェーハを収容できます。これにより、16個のウェーハであっても、高精度で一度にエッチングまたはアッシュすることができます。Plasmax-602Aは、高精度を保証する剛性と柔軟性のある設計を備えています。内蔵電源装置は、ロードライン補償された高速応答HF電源、および最大600V出力のDC電源を備えています。これにより、高い均一性と再現性を維持しながら、ウェーハの精密なエッチングまたはアッシングを可能にします。E&R Plasmax-602Aは、優れた安全機能も備えています。その真空クラスII安全レベルは、システムが外部汚染から保護されていることを保証します。また、オプションの安全マイクロスイッチと誘電フィルムの設置オプションを備えており、安全性をさらに向上させ、リスクを低減します。Plasmax-602Aはまた、エッチングおよびアッシング材料の広い範囲で作業することができ、メディアの読み込みとアンロードのための簡単なサイドポートを提供しています。そのプロセス制御は、PCとPLCの両方の制御システムをサポートするだけでなく、本格的なデータ取得で、非常に効率的です。直感的なユーザーインターフェイスにより、プロセスの簡単な開発と重要なプロセス監視機能が可能になり、最適なユニットパフォーマンスが保証されます。最後に、E&R Plasmax-602Aには、高度なセンサアレイ、モジュラープロセススイート、クイックリリース部品カートリッジなどの機能が装備されています。これにより、機械は非常に適応性が高く、幅広いアプリケーションのユニークなエッチングとアッシングのニーズを満たすことができます。また、包括的なサービスパッケージにより、今後もピーク時のパフォーマンスを維持しています。