中古 E&R Plasmax 600A #9217455 を販売中

E&R Plasmax 600A Etcher/Asherは、さまざまな困難なアプリケーションに使用される完全に自動化されたエッチングおよびアッシング装置です。プラズマエッチング、ウェットエッチング、ドライアッシング/ストリッピングが可能で、幅広いエッチングおよびアッシング操作に使用できます。このエッチング/アッシュシステムを使用すると、エッチングおよびアッシングパラメータを簡単にプログラムおよび調整して、効率的で再現性のあるプロセス制御を行うことができます。Plasmax 600Aは、RFジェネレータを内蔵したモジュラー設計と、幅広い周波数（最大950MHz）の要件を満たすコンパクトマッチングネットワークを備えています。プラズマ発生用の高電圧発電機を内蔵し、エッチング/アッシング動作時のプラズマ放射レベルを測定するエミッションメータを搭載しています。E&R Plasmax 600Aは、動作中の事故を防ぐためにインターロック機能とアラーム機能を備えた統合安全マシンを備えています。このエッチャー/アッシャーは、エッチング、アッシング、およびドライストリッピング性能を向上させるために設計された最適化されたプロセスチャンバーを提供します。水晶窓とシャッター、真空ポンプ、デジタルプロセス圧力制御ツール、エッチング/アッシング性能を監視するための真空ゲージを備えています。Plasmax 600Aは、マスフローコントローラを内蔵した窒素および酸素入力ポートも備えており、正確で安定したエッチングと微細加工プロセスを保証します。etcher/asherはまた操作をカスタマイズし、さまざまな条件を満たすためにいろいろ付属品を自慢します。これには、静電チャック、繊細な材料を加工するための特別なステージとプレート、プロセス領域を制御するための光学マスク、および高価な部品や基板を保護するための汚染防止（APC）資産が含まれます。さらに、E&R Plasmax 600Aをアップグレードして、より特殊なアプリケーションに追加機能を追加できます。例えば、静電容量結合プラズマ（CCP）ディスプレイ、効率的な放熱のためのマルチレベルのステンレス製プラットフォーム、またはプラズマ均一性を向上させる不活性ガス発生器を搭載できます。全体として、Plasmax 600Aは信頼性が高く、精密なエッチングおよびアッシング装置であり、幅広い用途に使用できます。プロセスの柔軟性と再現性を最大限に高め、優れたプロセス制御とパフォーマンス向上を実現します。