中古 DSS Gemini 820 #9156790 を販売中

DSS Gemini 820は、半導体業界のドライエッチング用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。幅広いエッチング機能を備えているため、プロセス開発や生産アプリケーションに最適です。Gemini 820は、3つのエンドポイント反応チャンバ、3つのインシデント照明チャンバ、2つのクリーブチャンバー、2つのマイクロ波エンドポイントセンサー、2つのガスの死量など、さまざまなプロセスチャンバを備えています。また、ユニフォームエッチング用の超音波ブレンドチャンバーと抵抗コーティング用のBioSprayチャンバーを備えています。DSS Gemini 820は、そのソフトウェアメカニズムを通じて、プロセスの精度と均一性を向上させます。それはすばやく正確に望ましいパターンを達成するように設計されています。ソフトウェアメカニズムにより、エッチングのエンドポイント検出も± 7％、精度は1。5ナノ秒です。さらに、DSS Gemini 830には低酸素レベルのモニターが搭載されており、プロセスチャンバー内の周囲条件をリアルタイムで監視できます。この機能により、エッチング品質が維持され、手動の周囲監視が不要になります。DSS Gemini 830は、アルゴン、XeF2、 CHF3、 CF4などのプロセス流体の最大限のプロセス制御と制御を提供します。また、チャンバー圧力を慎重に制御するための2つの独立したピエゾバルブを備えています。プロセスは、手動またはプリセットレシピパラメータで開始することができます。独立したプラズマチャンバーコントローラにより、各チャンバーの独立した制御が可能です。DSS Gemini 830には、緊急事態が検出された場合の自動チャンバーのシャットダウンなど、さまざまな安全機能が組み込まれています。それはまた容易な取付けおよび維持のためのモジュラー設計を特色にします。その高度なPCソフトウェアは、使いやすい機械制御、構成、監視、およびデータロギングを提供します。全体として、DSS Gemini 830は、精度と均一性の向上からプロセス制御と安全性の向上まで、エッチング処理に多くの利点を提供します。プロセス開発および生産アプリケーションに最適な選択肢であり、ドライエッチングのための包括的な一連の機能を提供します。