中古 DRYTEK 384T #9083713 を販売中

DRYTEK 384Tは、最も要求の厳しいマイクロエレクトロニクスおよび薄膜材料加工アプリケーションで使用するために設計されたエッチャー/アッシャーです。反応イオンエッチングおよびプラズマアシストエッチングおよびアッシング手順用に設計されており、半導体、バイオメディカル、医薬品、通信など幅広い業界で使用されています。384Tは24 x 24インチ（610 x 610 mm）のチャンバーを備え、最大ウエハサイズは4インチ（100 mm）です。真空チャンバーは高品質のステンレス製で、超低O2/N2ガス制御システムを備えています。このシステムは、タッチパネルを介してプロセスレシピを正確に制御することができます。DRYTEK 384Tは、常温から1000°Cまでのプロセス温度を実現し、基圧は0。5 mtorrです。また、プラズマエッチングとアッシングのための調整可能な高周波の無線周波数電源を備えています。384Tは、カスタムアプリケーションのセットアップのために利用可能なアクセサリーの多種多様を持っています。シャッターシステム、輸送システム、反応ステージカートなどがあります。トランスポートシステムは、ロボットアームを交換できるサンプルの準備と操作を含む、完全なウェハトランスポートソリューションを提供します。反応ステージカートは、熱電対、温度コントローラ、およびその他のさまざまな発熱体でシステムをカスタマイズすることができます。DRYTEK 384Tエッチャー/アッシャーは、信頼性と使いやすさのために設計されており、安全性と診断システムを内蔵しています。これらのシステムは、プロセス歩留まりを最適化するためのリアルタイムのプロセス監視とフィードバックを提供します。統合されたイオンビームソースにより、UV強化エッチングとアッシングが可能になり、高い選択性と低い残留損傷を達成できます。さらに、ウエハスピナーは最大50,000 rpmの速度が可能で、正確な均一性と均一性の制御が可能です。384Tは、高密度プラズマエッチング、高速アッシング、選択性エッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、ウエハレジストプロセスなど、幅広いエッチングおよびアッシング用途に適しています。その堅牢な設計と信頼性の高い制御と清潔さの特徴は、優れたプロセス安定性と再現性を提供します。さらに、長期的な費用対効果とメンテナンスの利点を提供します。DRYTEK 384Tは、最も複雑な材料加工要件向けに設計されており、エッチングやアッシング用途に最適なソリューションです。