中古 DNS / DAINIPPON TE-650G #9383289 を販売中

DNS/DAINIPPON TE-650Gは、高度な半導体集積回路を精密かつ正確に製造するために設計されたエッチングおよびアッシング機です。高圧ガス相セラミック反応プロセスを使用して、ウェハ表面に複雑な特徴をエッチングし、トランジスタ、ダイオード、コンデンサなどのデバイス用の高密度パッドを作成します。このマシンは、最大1600°Cの温度に達することができる強力なデュアルチャンバー加熱システムを備えており、ウェーハの精密エッチングに最適な熱制御を提供します。また、最大10-4 torrの真空を達成することができる高圧ドライエッチングチャンバーを備えています。装置の精度は、適切なタイミングで材料の正確な量を提供する組み込まれた周波数制御ガスインジェクションバルブによってさらに保証され、最適なエッチング機能を作成します。温度センサーや圧力センサーも搭載しており、エッチング工程をリアルタイムにモニタリングすることができます。効率を高め、コストを削減するために、DNS TE-650Gには、ユーザーがエッチレシピを保存し、迅速にリコールして再現可能な結果を作成し、必要に応じてプロセスを微調整できる高度なプログラマブルコントローラが含まれています。このコントローラはまた、設定をすばやく調整し、複雑なエッチプロファイルを保存できるようにしながら、セットアップ時間を最小限に抑える必要があります。DAINIPPON TE-650Gは、高度な光学検査システムとも互換性があり、エッチングされた機能を高精度で見直すことができます。包括的な安全システムを導入し、安全・安心をさらに確保します。これらには、危険な状況でプロセスをオフにするガスおよび圧力遮断システム、および粉末を粉砕して作業スペースに入るのを防ぐ双方向ファンが含まれます。TE-650Gは、精度と再現性の高い高度な加工プロセスを実行するための優れたツールです。その強力な加熱、エッチング、およびプログラマブルコントローラシステムは、高度な集積回路の製造の期待に応えることができる以上になります。