中古 DNS / DAINIPPON SPW-813AS #293807383 を販売中

DNS/DAINIPPON SPW-813ASは、半導体業界の様々な材料を精密かつ効率的に処理するために設計された、高度なプラズマエッチャー/アッシャー装置です。このツールは、ウェーハや基板上の有機・無機材料のフォトレジストストリッピング、デカム、プラズマ洗浄、エッチングなどのアプリケーションの研究および生産環境で広く使用されています。DNS SPW-813ASは、高密度プラズマを使用して、乾燥エッチングと呼ばれるプロセスを介して基板の表面から不要な材料を除去します。この技術は、ウェットエッチング法と比較して高い選択性、均一性、エッチングプロセスの制御を提供するため、半導体製造において好まれています。このシステムには高度な機能と機能が搭載されており、ユーザーは幅広いアプリケーションで正確かつ再現可能な結果を得ることができます。DAINIPPON SP-W813-ASの重要な特徴の1つは、安定したエッチング/アッシング結果を得るための信頼性の高い安定したプラズマ性能を提供する先進的なRFプラズマ生成ユニットです。この機械には複数のガス入力ラインとマスフローコントローラが装備されており、ガス流量、圧力、組成などのプロセスパラメータを正確に制御できます。これにより、ユーザーはエッチングプロセスを特定の要件に合わせて調整し、希望するエッチングレートと選択性を達成できます。また、基板表面に均一なプラズマ分布を確保する高速ウェハチャックツールを搭載したSPW-813ASです。この機能は、ウェーハ全体で均一なエッチング速度とエッチング深度を達成するために不可欠であり、これは半導体製造におけるデバイスの性能と歩留まりを確保するために不可欠です。このアセットには、さまざまな種類の材料やアプリケーションのプロセス性能を最適化するための温度制御機能も含まれています。また、DNS/DAINIPPON SP-W813-ASは、プロセスパラメータのプログラミングと制御を容易にするユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。このモデルには、プラズマ電力、ガス流量、温度、圧力などの主要なプロセスパラメータをリアルタイムで監視するタッチスクリーンディスプレイが装備されています。ユーザーはプロセスレシピを保存して取得することもでき、再現性とプロセスの最適化が容易になります。DNS SP-W813-ASは、安全性と信頼性を念頭に置いて設計されており、適切な動作を保証し、事故を防止するインターロック装置を備えています。システムには、ユニットのトラブルシューティングを容易にし、ダウンタイムを最小限に抑えるための診断およびメンテナンスツールも内蔵されています。全体として、SPW-813ASは精密で効率的な材料加工を目指す半導体メーカーや研究者に高度な機能を提供する汎用性と信頼性の高いプラズマエッチャー/アッシャーマシンです。