中古 DNS / DAINIPPON SPW-813A #293642853 を販売中

DNS/DAINIPPON SPW-813Aは、埋め込み構造、フラット基板、および複雑な立体構造を処理できる高度なエッチャーです。この高度なエッチング技術は、最大1.8µmの解像度を達成することができます。DNS SP-W813-Aは、シリコン基板、タングステン、ポリイミド、ポリマーなど、多くの基板をエッチングすることができます。また、広範囲の半導体基板でのシングルフライトまたはマルチフライトにも適しています。この高度なエッチャーは、乾燥ストリップ法を使用して、基板上に存在する可能性のあるコーティングを正確に除去します。DAINIPPON SPW-813-Aは、医学的に関係のある複雑な立体構造をエッチングすることができます。これにより、サウンドセンサーの製造から振動センサの製造まで、膨大な数のアプリケーションが可能になります。最小の線幅と奥行きは使用する抵抗の種類によって異なり、標準の線幅は1。9 µm、線幅は0。15 µmです。DAINIPPON SPW-813Aは、最新の自動積み下ろし装置を搭載し、1時間あたり最大60個のウェーハを処理できます。これにより、高スループットエッチング機能が提供され、大量の生産要件に最適です。SP-W813-Aは特別に設計されたガス供給システムを使用して、エッチング工程中の反応ガスの安定した均一な流れを提供します。この部屋は調節可能な温度および圧力レベルの独特なヒーターユニットが付いている独自のマルチゾーンの平面ヒーターの設計を利用します。チャンバーに取り付けられたHEPAタイプのフィルターは、プロセス全体の清潔さを保証します。この高度なエッチャーは、最大10-6 Torr （760ミリバー）の真空を処理できる統合された真空システムを備えています。プロセスチャンバーは、完全に自動化された24ステップのサイクルタイムで有効になり、すべての材料の信頼性と再現性の高いエッチングを提供します。SPW-813Aは、医療機器、家電、半導体アプリケーションのエッチング用途に最適です。ドライストリップエッチングプロセスと高スループットエッチング機能は、複雑で微細な立体構造を作成するための信頼性と効率的な方法を提供します。