中古 DNS / DAINIPPON SPW-612 #9018575 を販売中

DNS/DAINIPPON SPW-612は、精密エッチングおよびアッシング作業に使用されるエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、シリコンウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハ、その他の半導体基板材料などの基板の急速なアッシングおよびエッチングに最適です。このユニットには、12inchウェーハチャック回転家庭、XYZ動作が可能な2つの電磁アクチュエータ、およびプロセスガス供給が含まれています。この機械は、GFS-1000ガス供給ツールによって提供されるアルゴンまたは窒素のプロセスガスで動作するように設計されています。このアセットは、Cerberus SH 1000 NXT PLCベースのソフトウェアによって制御され、自動プロセスをプログラムするために使用され、ユーザーは複数の基板をパターンにマトリックスすることができます。また、希釈水溶液を使用して基板を均一にエッチングするウェットエッチングプロセスを搭載しています。手作業に頼らず、高精度なエッチングが可能です。また、電気静的負荷クランプ機構を採用し、加工中に基板を確実に固定します。これにより、処理中にウェーハが脱落しないようにします。このシステムはまた、粒子汚染を低減するように設計されたプロセス排気ブロワーを備えています。DNS SPW-612のアッシングおよびエッチングシステムは、優れたエッチング均一性を備えた1ミクロンのパターンサイズの小型生産が可能です。単位は非常に信頼でき、無駄を減らし、オペレータのための時間を節約するように設計されています。また、1時間あたり最大200個のウエハーのスループットも可能で、生産スケールのエッチングやアッシング作業に適しています。このツールは、EMI排出量を削減するためにも設計されています。全体として、ダイニッポンSP-W612は、幅広い用途に適した信頼性の高い精密制御エッチャーおよびアッシャー資産です。手作業では実現できないレベルの精度で、高精度で均一なエッチングとアッシングが可能です。このモデルは、製造工程における廃棄物、時間、EMI排出量を削減することができ、エッチングやアッシング作業に最適です。